SELEX 2014: Litografia EBL su GaAs (DFM.AD001.047)
Thematic area
Physical sciences and technologies of matter
Project area
Sensori multifunzionali e dispositivi elettronici (DFM.AD001)Structure responsible for the research project
Institute for photonics and nanotechnologies (IFN)
Project manager
ENNIO GIOVINE
Phone number: 06415221
Email: ennio.giovine@cnr.it
Abstract
Esecuzione di Processi di litografia a fascio elettronico su campioni del committente.
Goals
EBL su substrati GaAs e GaN e la realizzazione di strutture di gate con lunghezza fino a 0.15µm.
Start date of activity
11/04/2014
Keywords
litografia elettronica, GaAs, HEMT
Last update: 29/03/2024