Research project

SELEX 2014: Litografia EBL su GaAs (DFM.AD001.047)

Thematic area

Physical sciences and technologies of matter

Project area

Sensori multifunzionali e dispositivi elettronici (DFM.AD001)

Structure responsible for the research project

Institute for photonics and nanotechnologies (IFN)

Project manager

ENNIO GIOVINE
Phone number: 06415221
Email: ennio.giovine@cnr.it

Abstract

Esecuzione di Processi di litografia a fascio elettronico su campioni del committente.

Goals

EBL su substrati GaAs e GaN e la realizzazione di strutture di gate con lunghezza fino a 0.15µm.

Start date of activity

11/04/2014

Keywords

litografia elettronica, GaAs, HEMT

Last update: 29/03/2024