ETH-APS - Processing of 4H-SiC semiconductor wafers (DFM.AD001.324)
Area tematica
Scienze fisiche e tecnologie della materia
Area progettuale
Sensori multifunzionali e dispositivi elettronici (DFM.AD001)Struttura responsabile del progetto di ricerca
Istituto per lo studio dei materiali nanostrutturati (ISMN)
Altre strutture che collaborano al progetto di ricerca
Responsabile di progetto
ROBERTA NIPOTI
Telefono: 0516399143
E-mail: NIPOTI@BO.IMM.CNR.IT
Abstract
Processing of 4H-SiC semiconductor wafers
Obiettivi
X
Data inizio attività
29/11/2018
Parole chiave
ETH, 4H, SIC
Ultimo aggiornamento: 29/05/2025