La cleanroom presente presso l'Unità di Napoli dell'Istituto per la Microelettronica e Microsistemi (IMM) nasce nel 2006 per consentire l'esecuzione di una serie di attività di ricerca di punta nei settori dell'optoelettronica, dei microsistemi, della sensoristica avanzata. L'allestimento di questo laboratorio è stato finanziato da un progetto MIUR di potenziamento delle strutture di ricerca per le aree di obiettivo 1 e gran parte delle apparecchiature ed impianti in esso collocate ed operanti sono state acquistate grazie al concorso di progetti di ricerca internazionali, nazionali e regionali, insieme ai proventi delle attività di consulenza prestate a diverse aziende nazionali. Il laboratorio è suddiviso in tre locali adibiti al processo, due aree tecniche e due spogliatoi, uno principale ed uno secondario. Le condizioni operative relative agli ambienti destinati al processo prevedono una temperatura media di 22 °C ± 1 °C e di umidità relativa pari al 50% ± 5%. Nel locale principale, destinato agli impianti di deposizione ed etching di film sottili, sono ospitati due reattori per processi in plasma (PECVD e RIE/ICP) un impianto di sputtering DC/RF, un evaporatore termico, un evaporatore a cannone elettronico, due forni per trattamenti termici, uno scriber, un microscopio metallografico. Nell'ambiente in classe 100, in luce gialla, sono allocati l'allineatore di maschere e lo spinner, insieme ad una cappa chimica flusso laminare necessaria alle preparazione dei campioni. Il terzo locale è dedicato ai processi chimici, wet etching e produzione di silicio poroso, al processo di bonding su silicio, agli esami morfologici effettuati con un profilometro. Nei locali tecnici e nei locali esterni sono allocati tutti i servizi la cui distribuzione è effettuata sotto il pavimento sopraelevato e mediante colonnine in acciaio ove sono posizionati gli attacchi terminali di gas tecnici e di processo, aria compressa, vuoto, forza mortice, telefonia, dati, acqua di raffreddamento ed acqua deionizzata. L'insieme delle tecnologie disponibili nella cleanroom dell'IMM sono funzionali alle linee di ricerca dell'Istituto e sono altresì a disposizione, nell'ottica dei Centri di Competenza regionali e nazionali, di altri gruppi di ricerca o di aziende che vogliano proporre progetti o attività da sviluppare in sinergia con l'Istituto, sfruttando oltre che il parco degli impianti anche il knowhow sviluppato negli ultimi anni dal personale. In particolare, un primo esempio delle sinergie che questo tipo di laboratorio consente di immaginare è da riscontrasi nella collaborazione nata recentemente tra l'IMM ed altri gruppi di ricerca nel settore delle biotecnologie (IGB, IBP, Università "Federico II") finalizzato alla realizzazione di microsensori e biochip per applicazioni alla genomica e alla proteomica, o per la rivelazione di molecole di interesse ambientale (Progetto MIUR-FIRB 2003).
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