FNF Iinterno 2021 - DalZilio (DFM.AD006.228)

Thematic area

Physical sciences and technologies of matter

Project area

Structure responsible for the research project

Institute of materials (IOM)

Project manager

SIMONE DALZILIO
Phone number: 040
Email: dalzilio@iom.cnr.it

Abstract

I risultati raggiunti durante la fase pilota sono incoraggianti e giustificano la prosecuzione dell'esperienza, ampliandone il raggio di azione e arricchendone gli obiettivi. La presente proposta mira a sviluppare ulteriormente le metodologie sviluppate durante la fase pilota, ampliandone il bacino di utenza. Per fare ciò il progetto dovrà operare lungo tre assi portanti:
o Espansione del parco macchine e delle competenze
o Ampliamento del coinvolgimento istituzionale
o Attività di comunicazione e disseminazione

Goals

Miglioramento dei processi e della gestione dell'utenza:
- sviluppo di una libreria accessibile di processi
- definizione di procedure standard per le fasi preliminari di accesso, per il training e per la gestione del tempo macchina
- ampliamento dei processi e tecniche disponibili
Ampliamento del parco strumentazione:
- upgrade della strumentazione presente (sputtering, evaporatore ancgolo radente, bagni eettrolitici)
- sviluppo strumenti (SAM dep chamber, aligner for stancil mask)

Start date of activity

01/05/2021

Keywords

nanofabbricazione

Last update: 11/12/2023