DIONISO-Denominazione Progetto: Sviluppo, deposizione e caratterizzazione di DIelettrici a bassa temperatura basati su Ossi-Nitruri e ISOlanti ad alto k per elettronica di potenza da impiegare in applicazioni avioniche e aerospaziali - DIONISO (DFM.AD001.242)
Thematic area
Physical sciences and technologies of matter
Project area
Sensori multifunzionali e dispositivi elettronici (DFM.AD001)Structure responsible for the research project
Institute for microelectronics and microsystems (IMM)
Other structures collaborating in the research project
Project manager
LUCA MAIOLO
Phone number: 06-49934422
Email: luca.maiolo@cnr.it
Abstract
Gli obiettivi del progetto si inquadrano nell'ambito delle applicazioni elettroniche avanzate per avionica all'interno del settore aerospaziale che nel Lazio costituisce un pilastro dell'economia regionale secondo quanto riportato nei documenti delle aree di specializzazione. In particolare, le ricadute di innovazione del progetto vanno a rafforzare le performance dell'elettronica di potenza basata su transistori ad alta mobilità (HEMT) in nitruro di gallio (GaN). Tale obiettivo è ottenuto mediante l'utilizzo di strati dielettrici di passivazione depositabili a bassa temperatura mediante tecniche assistite da plasma per controllare fenomeni di degrado elettrico che avvengono sotto regimi impulsati. Verranno analizzati inoltre dielettrici ad alto k per la fabbricazione di capacitori da integrare sui circuiti di potenza. Tutte queste attività saranno svolte in stretto contatto con l'azienda Leonardo Spa al fine di definire un piano funzionale di trasferimento tecnologico dei materiali studiati.
Goals
Gli obiettivi del progetto si inquadrano nell'ambito delle applicazioni elettroniche avanzate per avionica all'interno del settore aerospaziale.
Il progetto si articola in quattro attività principali:
- sviluppo e ottimizzazione di dielettrici a bassa temperatura per passivazioni di dispositivi di tipo HEMT GaN da applicare su sistemi avionici e/o aerospaziali con caratterizzazione elettrica e termica;
- analisi morfologica e di superficie dei dielettrici per ottimizzare i materiali isolanti;
- deposizione di dielettrici ad alto k e loro caratterizzazione elettrica mediante la fabbricazione di strutture MIM;
- studio delle strategie di trasferimento tecnologico delle attrezzature e dei materiali all'azienda al fine di accorciare i possibili tempi di immissione su mercato di questi materiali.
Start date of activity
08/11/2018
Keywords
DIELETTRICI, GaN, SiC
Last update: 23/04/2024