LEONARDO ordine 8000087607 (DFM.AD001.238)
Thematic area
Physical sciences and technologies of matter
Project area
Sensori multifunzionali e dispositivi elettronici (DFM.AD001)Structure responsible for the research project
Institute for photonics and nanotechnologies (IFN)
Project manager
ENNIO GIOVINE
Phone number: 06415221
Email: ennio.giovine@cnr.it
Abstract
Il progetto riguarda la scrittura mediante litografia elettronica di elettrodi di gate su substrati GaN e GaAs.
Start date of activity
25/09/2018
Keywords
litografia elettronica, GaN, GaAs
Last update: 05/12/2024