COMMERCIALE IM2NP MARSIGLIA (DFM.AD001.230)
Thematic area
Physical sciences and technologies of matter
Project area
Sensori multifunzionali e dispositivi elettronici (DFM.AD001)Structure responsible for the research project
Institute for photonics and nanotechnologies (IFN)
Project manager
MONICA BOLLANI
Phone number: 0313327356
Email: monica.bollani@ifn.cnr.it
Abstract
Fabbricazione e caratterizzazione microscopica di 10 master di SOI con nano-microstrutturazioni non inferiore ai 100nm e risoluzione 10nm a fine processo di attacco al plasma
Start date of activity
19/11/2018
Keywords
litografia a fascio elettronico, attacco al plasma, substrati semiconduttori
Last update: 19/04/2024