Research project

Subcontratto ERC RM3 Lanzara 2016 (DFM.AD006.105)

Thematic area

Physical sciences and technologies of matter

Project area

Infrastrutture di ricerca , strumentazione avanzata e nuove metodologie sperimentali e di calcolo (DFM.AD006)

Structure responsible for the research project

Institute for photonics and nanotechnologies (IFN)

Project manager

ANDREA NOTARGIACOMO
Phone number: 06415221
Email: andrea.notargiacomo@cnr.it

Abstract

Sviluppo di processi di micro e nanofabbricazione in ambiente di Cleanroom per applicazioni su microstrutture di materiali innovativi

Goals

Messa a punto di processi per di microfabbricazione su materiali polimerici innovativi

Start date of activity

25/11/2016

Keywords

microfabbricazione, cleanroom

Last update: 09/12/2023