Subcontratto ERC RM3 Lanzara 2016 (DFM.AD006.105)
Thematic area
Physical sciences and technologies of matter
Project area
Infrastrutture di ricerca , strumentazione avanzata e nuove metodologie sperimentali e di calcolo (DFM.AD006)Structure responsible for the research project
Institute for photonics and nanotechnologies (IFN)
Project manager
ANDREA NOTARGIACOMO
Phone number: 06415221
Email: andrea.notargiacomo@cnr.it
Abstract
Sviluppo di processi di micro e nanofabbricazione in ambiente di Cleanroom per applicazioni su microstrutture di materiali innovativi
Goals
Messa a punto di processi per di microfabbricazione su materiali polimerici innovativi
Start date of activity
25/11/2016
Keywords
microfabbricazione, cleanroom
Last update: 09/12/2023