11 Sviluppo di tecnologie e realizzazione di dispositivi e microsistemi fotonici, fluidici e meccanici (DFM.AD001.054)

Thematic area

Physical sciences and technologies of matter

Project area

Structure responsible for the research project

Institute for microelectronics and microsystems (IMM)

Project manager

RITA RIZZOLI
Phone number: 0516399129
Email: rizzoli@bo.imm.cnr.it

Abstract

Focus del progetto è la ricerca nell'ambito dei Materiali, dei Dispositivi e dei Microsistemi, con l'obiettivo di ricercare applicazioni innovative di interesse per il mercato, la crescita culturale e il welfare. Per questo il progetto ha sviluppato negli anni una forte interazione tra ente pubblico, consorzi regionali, ditte private ed end user. Lo svolgimento dell'attività si fonda sull'uso di una facility tecnologica di R&D che consente lo sviluppo di prototipi e la fabbricazione di pre-serie. Tra i prodotti recentemente sviluppati ci sono:1) rivelatori di singolo fotone (SPAD) con prestazioni ottimizzate in configurazione singola e a matrice, per applicazioni in ambito di biologia molecolare, astrofisica e crittografia quantistica;2) microcanali, microvalvole, sensori di strain ad alta sensibilità, sensori di pressione assoluta e accelerometri in Si, SiC e materiali polimerici, con processi compatibili con la tecnologia VLSI standard;3) dispositivi fotovoltaici in silicio amorfo realizzati su substrati non convenzionali;4) prototipi di modulatori elettro-ottici basati su leghe a base di silicio, con prestazioni ottimizzate.

Goals

Gli obiettivi generali consistono nel progettare, realizzare e collaudare, nei contesti operativi reali, sia rivelatori di singolo fotone che microsistemi ottici integrati anche associati a strutture fotoniche. In parallelo vengono anche realizzati microsistemi in grado di svolgere funzioni di attuatori in applicazioni di diverse tipologie, quali la micromeccanica e la microfluidica. Lo sviluppo di strutture MEMS in SiC sfrutta le proprietà fisico-chimiche del materiale per sviluppare dispositivi idonei ad operare in ambienti ostili, oppure con proprietà meccaniche o di funzionalizzazione biochimica superiori a quelle di materiali classici in uso.

Start date of activity

01/11/2015

Keywords

Fotonica, Microfluidica, Microsistemi

Last update: 18/04/2024