Progetto di ricerca

DiaFET (DFM.AD001.338)

Area tematica

Scienze fisiche e tecnologie della materia

Area progettuale

Sensori multifunzionali e dispositivi elettronici (DFM.AD001)

Struttura responsabile del progetto di ricerca

Istituto di fotonica e nanotecnologie (IFN)

Responsabile di progetto

ENNIO GIOVINE
Telefono: 06 415221
E-mail: ennio.giovine@cnr.it

Abstract

Il diamante è un candidato promettente per il futuro sviluppo didispositivi di potenza, anche per applicazioni di switching, grazie al suo alto valore tensione di breakdown, conduttività termica e resistenza alla radiazione. Il potenziale del diamante non è stato ancora pienamente sfruttato per problemi della tecnologia di fabbricazione.
L'obiettivo del progetto è lo studio e la fabbricazione di dispositivi attivi su diamante cristallino per applicazioni alle microonde. Prevede la realizzazione e l'ottimizzazione di FET, a partire dai contatti ohmici e rettificanti, mediante tecniche di micro-fabbricazione basate su litografia elettronica.

Obiettivi

L'obiettivo del progetto è l'applicazione delle tecniche di microfabbricazione allo sviluppo di dispositivi attivi (field emission transistor) su cristalli di diamante per applicazioni alle microonde.

Data inizio attività

20/04/2021

Parole chiave

Diamante, micro fabbricazione, microonde

Ultimo aggiornamento: 15/10/2024