Progetto di ricerca

ASI - WLM RF MEMS switch (DFM.AD001.279)

Area tematica

Scienze fisiche e tecnologie della materia

Area progettuale

Sensori multifunzionali e dispositivi elettronici (DFM.AD001)

Struttura responsabile del progetto di ricerca

Istituto per la microelettronica e microsistemi (IMM)

Responsabile di progetto

ANNA PERSANO
Telefono: 0832/1975920
E-mail: anna.persano@cnr.it

Abstract

Il progetto si propone di potenziare la ricerca industriale necessaria allo sviluppo ed alla messa a punto di tecnologie abilitanti per la definizione di una filiera nazionale ("supply chain") orientata alla progettazione, simulazione, realizzazione e test per packaging microelettronico O-Ievel innovativo dei dispositivi RF attivi e passivi, in particolare RF Switch in tecnologia MEMS operanti con bassa perdita di inserzione e con alto isolamento RF fino a frequenze della banda Ka per applicazioni aerospaziali; in particolare verranno presi in considerazione processi e soluzioni basate su tecnologie per dispositivi HEMT in GaN/ AIGaN epitassiale su substrati di Carburo di Silicio e Silicio a bassa resistività termica.

Data inizio attività

28/06/2019

Parole chiave

dispositivo RF, MEMS, dispositi HEMT

Ultimo aggiornamento: 02/08/2025