Sviluppo di micro-dispositivi e sensori chimici, fisici e biologici a trasduzione elettroacustica (DFM.AD001.178)

Area tematica

Scienze fisiche e tecnologie della materia

Area progettuale

Struttura responsabile del progetto di ricerca

Istituto per la microelettronica e microsistemi (IMM)

Responsabile di progetto

FABIO DI PIETRANTONIO
Telefono: 0645488736
E-mail: fabio.dp@idasc.cnr.it

Abstract

La ricerca ha come tema i dispositivi micro-fabbricati con particolare
attenzione ai dispositivi micro-elettromeccanici (MEMS) ad attuazione
piezoelettrica e ai dispositivi microelettronici. L'attività è articolata in
diverse linee di ricerca come la progettazione e realizzazione di microdispositivi
basati sulla propagazione delle onde acustiche superficiali
(SAW) e di volume (BAW) nei solidi, dispositivi acusto-ottici e dispositivi
elettronici basati su materiali innovativi. Questi trovano impiego in
diversi settori dell'elettronica civile e industriale, nelle telecomunicazioni,
nelle tecniche radar, in quelle delle contro-misure elettroniche, ecc. Le
nostre ricerche saranno orientate ai diversi settori di applicazione, ma
con particolare attenzione ai sensori fisici e chimici ed ai biosensori. Per
la fabbricazione di questi vengono utilizzate tecniche fotolitografiche,
tecniche di deposizione di film sottili di ossidi e metalli (sputtering ed
evaporazione), tecniche di crescita di materiali piezoelettrici (AlN, ZnO,
PZT, BST, ecc.), come il reactive sputtering e la PLD, tecniche innovative
di deposizione di polimeri e biomolecole (come la Laser Induced Forward Transfer).

Obiettivi

- Realizzazione di biosensori ad onde acustiche superficiali funzionanti in
liquido basati su biomolecole per applicazioni in campo medico e
spaziale.
- Realizzazione di sistemi sensoriali utilizzanti biosensori basati su onde
acustiche ad alta frequenza (SAW, BAW)
- Ottimizzazione di un sistema sensoriale utilizzante biosensori SAW
basato su Odorant-binding protein realizzato durante l'attività degli anni
precedenti
- Ottimizzazione e realizzazione di Lateral Field Excited Film Bulk
Acoustic Resonators (LFE-FBAR)
- Realizzazione ed ottimizzazione di Thin Film Bulk Acoustic Resonators
(TFBAR) utilizzando nuove tecniche di fabbricazione, come il Laser
Induced Backward Transfer (LIBT)
- Progettazione, fabbricazione e test di sensori su substrati flessibili
- Micro-fabbricazione di dispositivi per lo studio delle proprietà
elettroniche di materiali innovativi come Ossidi di Cerio e Gadolinio
- Caratterizzazione di trasduttori HIFU per applicazioni mediche
- Realizzazione di transistor su film di Diamante
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Data inizio attività

01/01/2018

Parole chiave

micro-dispositivi, MEMS, micro-sensori elettroacustici

Ultimo aggiornamento: 16/10/2024