IIT - processi EBL per master in silicio (DFM.AD006.104)
Area tematica
Scienze fisiche e tecnologie della materia
Area progettuale
Infrastrutture di ricerca , strumentazione avanzata e nuove metodologie sperimentali e di calcolo (DFM.AD006)Struttura responsabile del progetto di ricerca
Istituto di fotonica e nanotecnologie (IFN)
Responsabile di progetto
GIORGIO PETTINARI
Telefono: 06-415221
E-mail: giorgio.pettinari@cnr.it
Abstract
Processi di litografia elettronica per master in silicio.
Obiettivi
creazione di master in silicio con features micrometriche e sub micrometriche per applicazioni bio-medicali
Data inizio attività
29/11/2016
Parole chiave
litografia elettronica
Ultimo aggiornamento: 11/12/2024