FIRB 2010 Notargiacomo RBFR10VB42_004 (DFM.AD001.064)

Area tematica

Scienze fisiche e tecnologie della materia

Area progettuale

Struttura responsabile del progetto di ricerca

Istituto di fotonica e nanotecnologie (IFN)

Responsabile di progetto

ANDREA NOTARGIACOMO
Telefono: 06415221
E-mail: andrea.notargiacomo@ifn.cnr.it

Abstract

Il principale obiettivo è la realizzazione di nanogeneratori di ZnO ad elevatissima efficienza. La strategia per aumentare l'efficienza è la fabbricazione di tipo top-down, ci aspettiamo infatti di ottenere caratteristiche senza precedenti in termini di bassa difettività, matching (geometrico, meccanico e elettrico) delle nanostrutture, accuratezza del drogaggio, robustezza meccanica e controllo delle geometrie. A partire da campioni di ZnO monocristallino e da film sottili di alta qualità si utilizzerà sia EBL (associata a tecniche di trasferimento di pattern mediante attacco a secco) sia FIB per la fabbricazione top-down di nanogeneratori di ZnO. L'attività principale dell'unita' CNR nel progetto è lo sviluppo di tecnologie di fabbricazione affidabili per micro/nanopatterning di campioni ZnO con controllo accurato della geometria e dell'uniformità delle nanostrutture realizzate, con l'obiettivo finale di aumentare al massimo l'efficienza e l'affidabilità dei nanogeneratori.

Obiettivi

Dimostrazione di un processo efficiente di nano-generazione piezoelettrica mediante ZnO nanostrutturato con tecniche top-down

Data inizio attività

09/03/2011

Parole chiave

nanofili, ZnO, microsistemi

Ultimo aggiornamento: 16/10/2024