ASI - WLM RF MEMS switch (DFM.AD001.279)
Thematic area
Physical sciences and technologies of matter
Project area
Sensori multifunzionali e dispositivi elettronici (DFM.AD001)Structure responsible for the research project
Institute for microelectronics and microsystems (IMM)
Project manager
ANNA PERSANO
Phone number: 0832/1975920
Email: anna.persano@cnr.it
Abstract
Il progetto si propone di potenziare la ricerca industriale necessaria allo sviluppo ed alla messa a punto di tecnologie abilitanti per la definizione di una filiera nazionale ("supply chain") orientata alla progettazione, simulazione, realizzazione e test per packaging microelettronico O-Ievel innovativo dei dispositivi RF attivi e passivi, in particolare RF Switch in tecnologia MEMS operanti con bassa perdita di inserzione e con alto isolamento RF fino a frequenze della banda Ka per applicazioni aerospaziali; in particolare verranno presi in considerazione processi e soluzioni basate su tecnologie per dispositivi HEMT in GaN/ AIGaN epitassiale su substrati di Carburo di Silicio e Silicio a bassa resistività termica.
Start date of activity
28/06/2019
Keywords
dispositivo RF, MEMS, dispositi HEMT
Last update: 01/09/2025