Sviluppo di micro-dispositivi e sensori chimici, fisici e biologici a trasduzione elettroacustica (DFM.AD001.178)

Thematic area

Physical sciences and technologies of matter

Project area

Structure responsible for the research project

Institute for microelectronics and microsystems (IMM)

Project manager

FABIO DI PIETRANTONIO
Phone number: 0645488736
Email: fabio.dp@idasc.cnr.it

Abstract

La ricerca ha come tema i dispositivi micro-fabbricati con particolare
attenzione ai dispositivi micro-elettromeccanici (MEMS) ad attuazione
piezoelettrica e ai dispositivi microelettronici. L'attività è articolata in
diverse linee di ricerca come la progettazione e realizzazione di microdispositivi
basati sulla propagazione delle onde acustiche superficiali
(SAW) e di volume (BAW) nei solidi, dispositivi acusto-ottici e dispositivi
elettronici basati su materiali innovativi. Questi trovano impiego in
diversi settori dell'elettronica civile e industriale, nelle telecomunicazioni,
nelle tecniche radar, in quelle delle contro-misure elettroniche, ecc. Le
nostre ricerche saranno orientate ai diversi settori di applicazione, ma
con particolare attenzione ai sensori fisici e chimici ed ai biosensori. Per
la fabbricazione di questi vengono utilizzate tecniche fotolitografiche,
tecniche di deposizione di film sottili di ossidi e metalli (sputtering ed
evaporazione), tecniche di crescita di materiali piezoelettrici (AlN, ZnO,
PZT, BST, ecc.), come il reactive sputtering e la PLD, tecniche innovative
di deposizione di polimeri e biomolecole (come la Laser Induced Forward Transfer).

Goals

- Realizzazione di biosensori ad onde acustiche superficiali funzionanti in
liquido basati su biomolecole per applicazioni in campo medico e
spaziale.
- Realizzazione di sistemi sensoriali utilizzanti biosensori basati su onde
acustiche ad alta frequenza (SAW, BAW)
- Ottimizzazione di un sistema sensoriale utilizzante biosensori SAW
basato su Odorant-binding protein realizzato durante l'attività degli anni
precedenti
- Ottimizzazione e realizzazione di Lateral Field Excited Film Bulk
Acoustic Resonators (LFE-FBAR)
- Realizzazione ed ottimizzazione di Thin Film Bulk Acoustic Resonators
(TFBAR) utilizzando nuove tecniche di fabbricazione, come il Laser
Induced Backward Transfer (LIBT)
- Progettazione, fabbricazione e test di sensori su substrati flessibili
- Micro-fabbricazione di dispositivi per lo studio delle proprietà
elettroniche di materiali innovativi come Ossidi di Cerio e Gadolinio
- Caratterizzazione di trasduttori HIFU per applicazioni mediche
- Realizzazione di transistor su film di Diamante
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Start date of activity

01/01/2018

Keywords

micro-dispositivi, MEMS, micro-sensori elettroacustici

Last update: 25/08/2025