FIRB 2010 Notargiacomo RBFR10VB42_004 (DFM.AD001.064)

Thematic area

Physical sciences and technologies of matter

Project area

Structure responsible for the research project

Institute for photonics and nanotechnologies (IFN)

Project manager

ANDREA NOTARGIACOMO
Phone number: 06415221
Email: andrea.notargiacomo@ifn.cnr.it

Abstract

Il principale obiettivo è la realizzazione di nanogeneratori di ZnO ad elevatissima efficienza. La strategia per aumentare l'efficienza è la fabbricazione di tipo top-down, ci aspettiamo infatti di ottenere caratteristiche senza precedenti in termini di bassa difettività, matching (geometrico, meccanico e elettrico) delle nanostrutture, accuratezza del drogaggio, robustezza meccanica e controllo delle geometrie. A partire da campioni di ZnO monocristallino e da film sottili di alta qualità si utilizzerà sia EBL (associata a tecniche di trasferimento di pattern mediante attacco a secco) sia FIB per la fabbricazione top-down di nanogeneratori di ZnO. L'attività principale dell'unita' CNR nel progetto è lo sviluppo di tecnologie di fabbricazione affidabili per micro/nanopatterning di campioni ZnO con controllo accurato della geometria e dell'uniformità delle nanostrutture realizzate, con l'obiettivo finale di aumentare al massimo l'efficienza e l'affidabilità dei nanogeneratori.

Goals

Dimostrazione di un processo efficiente di nano-generazione piezoelettrica mediante ZnO nanostrutturato con tecniche top-down

Start date of activity

09/03/2011

Keywords

nanofili, ZnO, microsistemi

Last update: 09/08/2025