Subcontratto ERC RM3 Morphosis/Lanzara (DFM.AD001.066)
Thematic area
Physical sciences and technologies of matter
Project area
Sensori multifunzionali e dispositivi elettronici (DFM.AD001)Structure responsible for the research project
Institute for photonics and nanotechnologies (IFN)
Project manager
ANDREA NOTARGIACOMO
Phone number: 06415221
Email: andrea.notargiacomo@ifn.cnr.it
Abstract
Attività di supporto tecnologico e sviluppo di processi di micro e nanofabbricazione in ambiente di Cleanroom per applicazioni su microstrutture do materiali innovativi
Goals
Messa a punto de processi per di microfabbricazione su materiali innovativi.
Start date of activity
24/06/2014
Keywords
litografia, film sottili, processi
Last update: 09/06/2025