LEONARDO ordine 8000087607 (DFM.AD001.238)
Area tematica
Scienze fisiche e tecnologie della materia
Area progettuale
Sensori multifunzionali e dispositivi elettronici (DFM.AD001)Struttura responsabile del progetto di ricerca
Istituto di fotonica e nanotecnologie (IFN)
Responsabile di progetto
ENNIO GIOVINE
Telefono: 06415221
E-mail: ennio.giovine@cnr.it
Abstract
Il progetto riguarda la scrittura mediante litografia elettronica di elettrodi di gate su substrati GaN e GaAs.
Data inizio attività
25/09/2018
Parole chiave
litografia elettronica, GaN, GaAs
Ultimo aggiornamento: 03/12/2024