Progetto di ricerca

LEONARDO ordine 8000087607 (DFM.AD001.238)

Area tematica

Scienze fisiche e tecnologie della materia

Area progettuale

Sensori multifunzionali e dispositivi elettronici (DFM.AD001)

Struttura responsabile del progetto di ricerca

Istituto di fotonica e nanotecnologie (IFN)

Responsabile di progetto

ENNIO GIOVINE
Telefono: 06415221
E-mail: ennio.giovine@cnr.it

Abstract

Il progetto riguarda la scrittura mediante litografia elettronica di elettrodi di gate su substrati GaN e GaAs.

Data inizio attività

25/09/2018

Parole chiave

litografia elettronica, GaN, GaAs

Ultimo aggiornamento: 03/12/2024