Growth Chemistry of SiC Alloys from SiF4-CH4 Plasmas (Abstract/Poster in convegno)

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Abstract/Poster in convegno (Classe)

Label

• Growth Chemistry of SiC Alloys from SiF4-CH4 Plasmas (Abstract/Poster in convegno) (literal)

Anno

• 2001-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Alternative label

• G. Cicala1, P. Capezzuto2 and G. Bruno1 (2001)
  Growth Chemistry of SiC Alloys from SiF4-CH4 Plasmas
  in European Mat. Res. Soc. Spring Meeting, Strasbourg (France), June 2001
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• G. Cicala1, P. Capezzuto2 and G. Bruno1 (literal)

Pagina inizio

• 0/P13 p. 0-13 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#titoloVolume

• Abstracts of European Mat. Res. Soc. Spring Meeting (E-MRS) (literal)

Note

• Poster (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• 1Centro di Studio per la Chimica dei Plasmi CNR, Via Orabona, 4-70126 Bari, Italy; 2Dipartimento di Chimica Universita` di Bari, Via Orabona, 4-70126 Bari, Italy (literal)

Titolo

• Growth Chemistry of SiC Alloys from SiF4-CH4 Plasmas (literal)

Prodotto di

• Dinamica di Plasmi e Laser-Plasmi (MD.P03.027.001) (Modulo)
• Istituto di Nanotecnologia (NANOTEC) (Istituto)

Autore CNR

• GRAZIA CICALA (Unità di personale interno)

Incoming links:

Prodotto

• Istituto di Nanotecnologia (NANOTEC) (Istituto)
• Dinamica di Plasmi e Laser-Plasmi (MD.P03.027.001) (Modulo)

Autore CNR di

• GRAZIA CICALA (Unità di personale interno)