COMMERCIALE IM2NP MARSIGLIA (DFM.AD001.230)
Area tematica
Scienze fisiche e tecnologie della materia
Area progettuale
Sensori multifunzionali e dispositivi elettronici (DFM.AD001)Struttura responsabile del progetto di ricerca
Istituto di fotonica e nanotecnologie (IFN)
Responsabile di progetto
MONICA BOLLANI
Telefono: 0313327356
E-mail: monica.bollani@ifn.cnr.it
Abstract
Fabbricazione e caratterizzazione microscopica di 10 master di SOI con nano-microstrutturazioni non inferiore ai 100nm e risoluzione 10nm a fine processo di attacco al plasma
Data inizio attività
19/11/2018
Parole chiave
litografia a fascio elettronico, attacco al plasma, substrati semiconduttori
Ultimo aggiornamento: 27/03/2025