Consiglio Nazionale delle Ricerche

Tipo di prodottoAbstract in atti di convegno
TitoloAdvantages of an almost triangular cross section for silicon nanostructure fabrication on SOI substrates
Anno di pubblicazione2006
Formato-
Autore/iG. Pennelli, M. Piotto, B. Pellegrini
Affiliazioni autoriDipartimento di Ingegneria dell'Informazione, via G. Caruso, 16, 56122 Pisa, Italy CNR IEIIT - Pisa, via G. Caruso, 16, 56122 Pisa, Italy
Autori CNR e affiliazioni
  • BRUNO PELLEGRINI
  • MASSIMO PIOTTO
Lingua/e-
Abstract-
Pagine da-
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Pagine totali-
Rivista-
Numero volume della rivista-
Serie/Collana-
Titolo del volume-
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Curatore/i del volume-
ISBN-
DOI-
Verificato da refereeSì: Internazionale
Stato della pubblicazione-
Indicizzazione (in banche dati controllate)-
Parole chiave-
Link (URL, URI)-
Titolo convegno/congressoProceedings of the 32th international conference micro- and nano- engineering 2006 (MNE2006)
Luogo convegno/congressoBarcellona, Spain
Data/e convegno/congressoSeptember 17-20 2006
RilevanzaInternazionale
RelazioneContributo
Titolo parallelo-
Note/Altre informazioni-
Strutture CNR
  • IEIIT — IEIIT - UOS di Pisa
Moduli CNR
    Progetti Europei-
    Allegati

      Dati associati a vecchie tipologie
      I dati associati a vecchie tipologie non sono modificabili, derivano dal cambiamento della tipologia di prodotto e hanno solo valore storico.
      TipoAbstract