Consiglio Nazionale delle Ricerche

Tipo di prodottoContributo in atti di convegno
TitoloQuasi-zero-voltage controlled etching of macropores in n-type silicon
Anno di pubblicazione2018
FormatoElettronico
Autore/iStrambini, L. M.; Cozzi, C.; Barillaro, G.
Affiliazioni autoriIEIIT-CNR; Università di Pisa
Autori CNR e affiliazioni
  • GIUSEPPE BARILLARO
  • LUCANOS STRAMBINI
Lingua/e
  • inglese
AbstractHere, we report an experimental study about the controlled etching of macropores in n-type silicon electrodes at quasi-zero anodic voltage using hydrofluoric acid-based photo-electrochemical etching (P-ECE). This breaks a new ground on the controlled electrochemical dissolution of n-type silicon, for which the use of anodic voltage above the electropolishing peaks (Vps, Jps) has been considered to be a golden rule for the etching control, so far. Remarkably, our experimental results clearly show that it is possible to control the etching of macropores at anodic voltages well below (close to zero Volt) the electropolishing peak and that the use of low anodic voltages is beneficial for the fabrication of regular macropores with large diameter (i.e. 10 ?m) and spatial pitch (i.e. 20 ?m).
Lingua abstractinglese
Altro abstract-
Lingua altro abstract-
Pagine da93
Pagine a95
Pagine totali-
RivistaECS transactions (Online)
Attiva dal 2005
Editore: The Electrochemical Society - Pennington, N.J.
Paese di pubblicazione: Stati Uniti d'America
Lingua: inglese
ISSN: 1938-6737
Titolo chiave: ECS transactions (Online)
Titolo proprio: ECS transactions (Online)
Titolo alternativo: Electrochemical Society transactions (Online)
Numero volume della rivista85
Serie/Collana-
Titolo del volume-
Numero volume della serie/collana-
Curatore/i del volume-
ISBN9781607685395
DOI10.1149/08506.0093ecst
Editore-
Verificato da refereeSì: Internazionale
Stato della pubblicazionePublished version
Indicizzazione (in banche dati controllate)
  • Scopus (Codice:2-s2.0-85050092115)
Parole chiaveElectrochemical dissolution; Large diameter Macropores; Photo electrochemical etchings; Zero voltage
Link (URL, URI)http://www.scopus.com/record/display.url?eid=2-s2.0-85050092115&origin=inward
Titolo convegno/congressonternational Symposium on Silicon Compatible Materials, Processes, and Technologies for Advanced Integrated Circuits and Emerging Applications 8 - 233rd ECS Meeting
Luogo convegno/congressoSeattle; United States
Data/e convegno/congresso13/05/2018, 17/05/2018
RilevanzaInternazionale
RelazioneContributo
Titolo parallelo-
Note/Altre informazioni-
Strutture CNR
  • IEIIT — Istituto di elettronica e di ingegneria dell'informazione e delle telecomunicazioni
Moduli CNR
    Progetti Europei-
    Allegati