Consiglio Nazionale delle Ricerche

Tipo di prodottoArticolo in rivista
TitoloPrecise measurement of gas volumes by means of low-offset MEMS flow sensors with µL/min resolution
Anno di pubblicazione2017
Autore/iPiotto M.; Del Cesta S.; Bruschi P.
Affiliazioni autoriIEIIT-PISA, CNR, Via G. Caruso 16, Pisa, 56122, , Italy; Department of Ingegneria dell'Informazione, University of Pisa, Pisa, 56122, , Italy Department of Ingegneria dell'Informazione, University of Pisa, Pisa, 56122, , Italy
Autori CNR e affiliazioni
  • inglese
AbstractExperiments devoted to evaluate the performance of a MEMS thermal flow sensor in measuring gas volumes are described. The sensor is a single-chip platform, including several sensing structures and a low-offset, low-noise readout interface. A recently proposed offset compensation approach is implemented obtaining low temperature drift and excellent long time stability. The sensor is fabricated by applying a simple micromachining procedure to a chip produced using the BCD6s process of STMicroelectronics. Application of a gas conveyor allowed inclusion of the sensing structure into a channel of sub-millimeter cross-section. The results of measurements performed by making controlled air volumes pass through the sensor channel in both directions at rates from 0.1 to 5 mL/min are described.
Lingua abstractinglese
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RivistaSensors (Basel)
Attiva dal 2001
Editore: Molecular Diversity Preservation International (MDPI), - Basel
Lingua: inglese
ISSN: 1424-8220
Titolo chiave: Sensors (Basel)
Titolo proprio: Sensors. (Basel)
Titolo abbreviato: Sensors (Basel)
Numero volume della rivista17
Fascicolo della rivista-
Verificato da refereeSì: Internazionale
Stato della pubblicazionePublished version
Indicizzazione (in banche dati controllate)
  • Scopus (Codice:2-s2.0-85032729728)
Parole chiavegas volume measurement; MEMS flow sensor; thermal flow sensor; system on a chip
Link (URL, URI)
Titolo parallelo-
Data di accettazione-
Note/Altre informazioni-
Strutture CNR
  • IEIIT — Istituto di elettronica e di ingegneria dell'informazione e delle telecomunicazioni
Moduli CNR
    Progetti Europei-