Consiglio Nazionale delle Ricerche

Tipo di prodottoArticolo in rivista
TitoloIntegrated smart gas flow sensor with 2.6 mW total power consumption and 80 dB dynamic range
Anno di pubblicazione2016
FormatoCartaceo
Autore/iPiotto M.; Del Cesta F.; Bruschi P.
Affiliazioni autoriIEIIT - Pisa, CNR, via G. Caruso 16, Pisa, I-56122, Italy; Dipartimento di Ingegneria dell'Informazione, University of Pisa, via G. Caruso 16, Pisa, I-56122, Italy Dipartimento di Ingegneria dell'Informazione, University of Pisa, via G. Caruso 16, Pisa, I-56122, Italy
Autori CNR e affiliazioni
  • MASSIMO PIOTTO
Lingua/e
  • inglese
AbstractA thermal flow sensor including sensing structures and a read-out interface in a single chip is proposed. The sensing structure is a microcalorimeter based on a double heater configuration while the low noise electronic interface performs signal reading and offset compensation. The device has been fabricated with a commercial CMOS process followed by a post-processing procedure. Post-processing has been customized in order to increase the thermal insulation of the sensing structures from the silicon substrate and improve the heat exchange between the sensor and the gas flow. Device characterization confirms the effectiveness of the proposed fabrication method in increasing the sensitivity at constant power consumption without affecting the dynamic range.
Lingua abstractinglese
Altro abstract-
Lingua altro abstract-
Pagine da159
Pagine a163
Pagine totali-
RivistaMicroelectronic engineering
Attiva dal 1983
Editore: North-Holland - Amsterdam
Paese di pubblicazione: Paesi Bassi
Lingua: inglese
ISSN: 0167-9317
Titolo chiave: Microelectronic engineering
Titolo proprio: Microelectronic engineering.
Titolo abbreviato: Microelectron. eng.
Numero volume della rivista159
Fascicolo della rivista-
DOI10.1016/j.mee.2016.03.042
Verificato da refereeSì: Internazionale
Stato della pubblicazionePublished version
Indicizzazione (in banche dati controllate)
  • Scopus (Codice:2-s2.0-84961935847)
  • ISI Web of Science (WOS) (Codice:000378962900034)
Parole chiaveThermal flow sensor Electronic interface System-on-chip (SoC) Flow sensor design Low power design
Link (URL, URI)http://www.scopus.com/record/display.url?eid=2-s2.0-84961935847&origin=inward
Titolo parallelo-
Data di accettazione-
Note/Altre informazioni-
Strutture CNR
  • IEIIT — Istituto di elettronica e di ingegneria dell'informazione e delle telecomunicazioni
Moduli CNR
    Progetti Europei-
    Allegati
    Integrated smart gas flow sensor with 2.6 mW total power consumption and 80 dB dynamic range (documento privato )
    Tipo documento: application/acrobat