Consiglio Nazionale delle Ricerche

Tipo di prodottoContributo in atti di convegno
TitoloAn integrated thermal sensor platform for multi-variable detection
Anno di pubblicazione2015
FormatoCartaceo
Autore/iDel Cesta F.; Bruschi P.; Piotto M.
Affiliazioni autoriDipartimento di Ingegneria Dell'Informazione, University of Pisa, Pisa, Italy; Dipartimento di Ingegneria Dell'Informazione, University of Pisa, Pisa, Italy; IEIIT - PISA, CNR, Pisa, Italy
Autori CNR e affiliazioni
  • MASSIMO PIOTTO
Lingua/e
  • inglese
AbstractA single chip sensor platform, including different kind of thermal sensors and advanced readout electronic circuits, is described. The chip is obtained using a two-step procedure: (i) the preliminary die is fabricated by a standard microelectronic process (STMicroelectronics BCD6s); (ii) post-processing is applied to the die to introduce thermal insulation between the sensor elements and the substrate. The sensors are finalized to detect flow rate, pressure and acoustical particle velocity. The electronic circuits include two low noise amplifiers and a programmable current source for sensor biasing.
Lingua abstractinglese
Altro abstract-
Lingua altro abstract-
Pagine da-
Pagine a-
Pagine totali-
Rivista-
Numero volume della rivista-
Serie/Collana-
Titolo del volume-
Numero volume della serie/collana-
Curatore/i del volume-
ISBN-
DOI10.1109/AISEM.2015.7066844
Editore-
Verificato da refereeSì: Nazionale
Stato della pubblicazionePublished version
Indicizzazione (in banche dati controllate)
  • Scopus (Codice:2-s2.0-84937153993)
  • ISI Web of Science (WOS) (Codice:000381569900084)
Parole chiaveMEMS, multi sensor platform, thermal sensors
Link (URL, URI)http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-84937153993&partnerID=q2rCbXpz
Titolo convegno/congresso18th Conference on Sensors and Microsystems, AISEM 2015
Luogo convegno/congressoTrento, Italy
Data/e convegno/congresso3 -5 February 2015
RilevanzaNazionale
RelazioneContributo
Titolo parallelo-
Note/Altre informazioni-
Strutture CNR
  • IEIIT — Istituto di elettronica e di ingegneria dell'informazione e delle telecomunicazioni
Moduli CNR
    Progetti Europei-
    Allegati