Consiglio Nazionale delle Ricerche

Tipo di prodottoContributo in atti di convegno
TitoloDesign of acoustic particle velocity sensors with a coupled 3D-2D finite element model
Anno di pubblicazione2015
FormatoCartaceo
Autore/iPiotto M.; Zanetti E.; Bruschi P.
Affiliazioni autoriIEIIT - Pisa, CNR, Pisa, Italy; Dipartimento di Ingegneria Dell'Informazione, University of Pisa, Pisa, Italy Dipartimento di Ingegneria Dell'Informazione, University of Pisa, Pisa, Italy
Autori CNR e affiliazioni
  • MASSIMO PIOTTO
Lingua/e
  • inglese
AbstractA coupled 2D-3D finite element model developed with COMSOL Multiphysics software platform is proposed to design novel acoustic particle velocity sensors. The device consists of four silicided polysilicon wires arranged in a Wheatstone full-bridge configuration. Each wire has been divided into three segments placed over suspended silicon dioxide membranes. The dependence of the device sensitivity and frequency response on geometric dimensions has been investigated.
Lingua abstractinglese
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Rivista-
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ISBN-
DOI10.1109/AISEM.2015.7066841
Editore-
Verificato da refereeSì: Nazionale
Stato della pubblicazionePublished version
Indicizzazione (in banche dati controllate)
  • Scopus (Codice:2-s2.0-84937132735)
  • ISI Web of Science (WOS) (Codice:000381569900081)
Parole chiaveacoustic sensors, finite element simulations, integrated sensors
Link (URL, URI)http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-84937132735&partnerID=q2rCbXpz
Titolo convegno/congresso18th Conference on Sensors and Microsystems, AISEM 2015
Luogo convegno/congressoTrento, Italy
Data/e convegno/congresso3 -5 February 2015
RilevanzaNazionale
RelazioneContributo
Titolo parallelo-
Note/Altre informazioni-
Strutture CNR
  • IEIIT — Istituto di elettronica e di ingegneria dell'informazione e delle telecomunicazioni
Moduli CNR
    Progetti Europei-
    Allegati