Consiglio Nazionale delle Ricerche

Tipo di prodottoArticolo in rivista
TitoloCharacterization and modeling of CMOS-compatible acoustical particle velocity sensors for applications requiring low supply voltages
Anno di pubblicazione2015
FormatoCartaceo
Autore/iPiotto, M.; Butti, F.; Zanetti, E.; Di Pancrazio, A.; Iannaccone, G.; Bruschi, P.
Affiliazioni autoriIEIIT-Pisa, CNR, via G. Caruso 16, I-56122 Pisa, Italy Marvell Semiconductors, viale della Republica 38, I-27100 Pavia, Italy Dipartimento di Ingegneria dell'Informazione, University of Pisa, via G. Caruso 16, I-56122 Pisa, Italy Dipartimento di Ingegneria dell'Informazione, University of Pisa, via G. Caruso 16, I-56122 Pisa, Italy Dipartimento di Ingegneria dell'Informazione, University of Pisa, via G. Caruso 16, I-56122 Pisa, Italy Dipartimento di Ingegneria dell'Informazione, University of Pisa, via G. Caruso 16, I-56122 Pisa, Italy
Autori CNR e affiliazioni
  • MASSIMO PIOTTO
Lingua/e
  • inglese
AbstractAcoustic particle velocity sensors have been obtained applying simple low resolution micromachining steps to chips fabricated using a standard microelectronic process. Each sensor consists of four silicided polysilicon wires, suspended over cavities etched into the substrate, and connected to form a Wheatstone bridge. Full compatibility of the micromachining procedure with the original process is demonstrated by integrating a simple pre-amplifier on the same chip as the sensors and showing that both blocks are functional. Proper design of the sensing structures allows them to operate with a single 3.3 V power supply. Sensitivity and noise measurements, performed to estimate the sensor detection limit, are described. Excess noise with a flicker-like behavior, not ascribable to the amplifier, is found when the bridges are biased in working conditions. In addition, the dependence of the sensitivity on the dc bias voltage of the bridges is investigated, comparing the experimental data with the results of a simple analytical model and finite element method simulations. (C) 2015 Elsevier B.V. All rights reserved.
Lingua abstractinglese
Altro abstract-
Lingua altro abstract-
Pagine da192
Pagine a202
Pagine totali11
RivistaSensors and actuators. A, Physical (Print)
Attiva dal 1990
Editore: Elsevier Sequoia - Lausanne
Paese di pubblicazione: Svizzera
Lingua: inglese
ISSN: 0924-4247
Titolo chiave: Sensors and actuators. A, Physical (Print)
Titolo proprio: Sensors and actuators. (Print)
Titolo abbreviato: Sens. actuators, A, Phys. (Print)
Titolo alternativo: Sensors and actuators A (Print)
Numero volume della rivista229
Fascicolo della rivista-
DOI10.1016/j.sna.2015.03.018
Verificato da refereeSì: Internazionale
Stato della pubblicazionePublished version
Indicizzazione (in banche dati controllate)
  • ISI Web of Science (WOS) (Codice:000355883700025)
  • Scopus (Codice:2-s2.0-84956800745)
Parole chiaveAcoustic particle velocity sensor, CMOS-compatible, Integrated chopper pre-amplifier, Sensitivity model, Excess noise
Link (URL, URI)-
Titolo parallelo-
Data di accettazione-
Note/Altre informazioni-
Strutture CNR
  • IEIIT — Istituto di elettronica e di ingegneria dell'informazione e delle telecomunicazioni
Moduli CNR
    Progetti Europei-
    Allegati
    Characterization and modeling of CMOS-compatible acousticalparticle velocity sensors for applications requiring low supply voltages (documento privato )
    Tipo documento: application/save