Consiglio Nazionale delle Ricerche

Tipo di prodottoArticolo in rivista
TitoloAutomatic compensation of pressure effects on smart flow sensors in the analog and digital domain
Anno di pubblicazione2014
FormatoCartaceo
Autore/iM. Piotto, A. N. Longhitano, F. Del Cesta, P. Bruschi
Affiliazioni autoriIEIIT-Pisa, CNR, via G. Caruso 16, I-56122 Pisa, Italy Dipartimento di Ingegneria dell'Informazione, University of Pisa, via G. Caruso 16, I-56122 Pisa, Italy Dipartimento di Ingegneria dell'Informazione, University of Pisa, via G. Caruso 16, I-56122 Pisa, Italy Dipartimento di Ingegneria dell'Informazione, University of Pisa, via G. Caruso 16, I-56122 Pisa, Italy
Autori CNR e affiliazioni
  • MASSIMO PIOTTO
Lingua/e
  • inglese
AbstractTwo different approaches for the automatic compensation of pressure effects on thermal flow sensors are investigated. One approach operates in the analog domain and it is based on a closed-loop circuit that uses a pressure dependent signal to keep the sensor output constant. The digital approach operates in an open loop fashion and is capable of producing also a pressure reading. The effectiveness of the proposed methods has been verified by means of a smart flow sensor integrating on the same chip the sensing structures and a configurable electronic interface performing signal reading and non idealities compensation. The chip has been designed with a commercial CMOS process and fabricated by means of a post-processing technique. The experimental results performed in nitrogen confirm that both methods are capable of reducing the sensitivity of the flow sensor output signal to pressure variations.
Lingua abstractinglese
Altro abstract-
Lingua altro abstract-
Pagine da171
Pagine a177
Pagine totali7
RivistaSensors and actuators. A, Physical (Print)
Attiva dal 1990
Editore: Elsevier Sequoia - Lausanne
Paese di pubblicazione: Svizzera
Lingua: inglese
ISSN: 0924-4247
Titolo chiave: Sensors and actuators. A, Physical (Print)
Titolo proprio: Sensors and actuators. (Print)
Titolo abbreviato: Sens. actuators, A, Phys. (Print)
Titolo alternativo: Sensors and actuators A (Print)
Numero volume della rivista206
Fascicolo della rivista-
DOI10.1016/j.sna.2013.11.013
Verificato da refereeSì: Internazionale
Stato della pubblicazionePublished version
Indicizzazione (in banche dati controllate)
  • ISI Web of Science (WOS) (Codice:000331505600024)
  • Scopus (Codice:2-s2.0-84892373665)
Parole chiaveMicro-electro- mechanical systems (MEMS), Pressure compensation, Smart sensor, Thermal flow sensor
Link (URL, URI)-
Titolo parallelo-
Data di accettazione-
Note/Altre informazioni-
Strutture CNR
  • IEIIT — Istituto di elettronica e di ingegneria dell'informazione e delle telecomunicazioni
Moduli CNR
    Progetti Europei-
    Allegati

    Dati associati a vecchie tipologie
    I dati associati a vecchie tipologie non sono modificabili, derivano dal cambiamento della tipologia di prodotto e hanno solo valore storico.
    Editore
    • Elsevier Sequoia, Lausanne (Svizzera)