Consiglio Nazionale delle Ricerche

Tipo di prodottoArticolo in rivista
Titolo50 nm continuously tunable MEMS VCSEL devices with surface micromachining operating at 1.95 micron emission wavelength
Anno di pubblicazione2013
Autore/iGruendl, T. , Zogal, K., Debernardi, P., Gierl, C.b, Grasse, C.a, Geiger, K.a, Meyer, R., Boehm, G., Amann, M.-C., Meissner, P., Kueppers, F.
Affiliazioni autoriWalter Schottky Institut, Technische Universität München, Am Coulombwall 4, D-85748 Garching, Germany Technische Universität Darmstadt, Merckstrasse 25, D-64283 Darmstadt, Germany
Autori CNR e affiliazioni
AbstractAn investigation of micro-electro-mechanical-system vertical-cavity surface-emitting lasers at 1.95 ?m emission wavelength grown on InP is presented. The top sided distributed Bragg reflector has been substituted by a dielectric SiOx/SiNy membrane. Its deflection causes a continuous change of emission wavelength due to cavity tuning. The membrane actuation can be achieved in two different ways: by electrostatic attraction and electrothermal expansion. The recently developed surface-micro-machining technique allows both tuning mechanisms on one and the same device. The maximum achieved continuous tuning range is 50 nm with side-mode-suppression-ratios beyond 50 dB over the entire tuning range. Peak optical output powers of 1.0 to 1.8 mW with threshold current densities of 2.2 kA cm-2 will be presented.
Lingua abstract-
Altro abstract-
Lingua altro abstract-
Pagine da1
Pagine a4
Pagine totali4
RivistaSemiconductor science and technology (Online)
Attiva dal 1996
Editore: IOP Publishing - [Bristol]
Paese di pubblicazione: Regno Unito
Lingua: inglese
ISSN: 1361-6641
Titolo chiave: Semiconductor science and technology (Online)
Titolo proprio: Semiconductor science and technology (Online)
Titolo abbreviato: Semicond. sci. technol. (Online)
Numero volume della rivista28
Fascicolo della rivista1
Verificato da refereeSì: Internazionale
Stato della pubblicazione-
Indicizzazione (in banche dati controllate)-
Parole chiave-
Link (URL, URI)-
Titolo parallelo-
Data di accettazione-
Note/Altre informazioni-
Strutture CNR
  • IEIIT — Istituto di elettronica e di ingegneria dell'informazione e delle telecomunicazioni
Moduli CNR-
Progetti Europei-
  • 50nm-1950nm