Consiglio Nazionale delle Ricerche

Tipo di prodottoArticolo in rivista
TitoloAn offset compensation method with low residual drift for integrated thermal flow sensors
Anno di pubblicazione2011
FormatoCartaceo
Autore/iPaolo Bruschi; Michele Dei; Massimo Piotto
Affiliazioni autoriDipartimento di Ingegneria dell'Informazione, University of Pisa, I-56122 Pisa, Italy Centro Nacional de Microelectrónica, Instituto de Microelectrónica de Barcelona, 08193 Bellaterra (Barcelona) IEIIT-Pisa CNR, 56122 Pisa, Italy
Autori CNR e affiliazioni
  • MASSIMO PIOTTO
Lingua/e
  • inglese
AbstractA new offset compensation approach for integrated thermal flow meters is described. The method is based on micromachined differential flow sensing structures with the heater split into two identical and symmetrical sections. The power unbalance between the two heaters is used to compensate the intrinsic sensor offset. The effectiveness of the approach is proven by means of experiments performed on micro flow meters fabricated by postprocessing chips produced with a commercial microelectronic process. The tests were devoted to demonstrate the robustness of the offset compensation with respect to variation of both the gas temperature and type.
Lingua abstractinglese
Altro abstract-
Lingua altro abstract-
Pagine da1162
Pagine a1168
Pagine totali7
RivistaIEEE sensors journal
Attiva dal 2001
Editore: IEEE Sensors Council, - New York, NY
Paese di pubblicazione: Stati Uniti d'America
Lingua: inglese
ISSN: 1530-437X
Titolo chiave: IEEE sensors journal
Titolo proprio: IEEE sensors journal.
Titolo abbreviato: IEEE sens. j.
Titoli alternativi:
  • Sensors journal
  • Institute of Electrical and Electronics Engineers sensors journal
Numero volume della rivista11
Fascicolo della rivista5
DOI10.1109/JSEN.2010.2083651
Verificato da refereeSì: Internazionale
Stato della pubblicazionePublished version
Indicizzazione (in banche dati controllate)
  • ISI Web of Science (WOS) (Codice:000288451900010)
  • Scopus (Codice:2-s2.0-79952858454)
Parole chiaveMEMS, offset compensation, thermal flow sensors
Link (URL, URI)-
Titolo parallelo-
Data di accettazione-
Note/Altre informazioni-
Strutture CNR
  • IEIIT — Istituto di elettronica e di ingegneria dell'informazione e delle telecomunicazioni
Moduli CNR
    Progetti Europei-
    Allegati
    • An offset compensation method with low residual drift for integrated thermal flow sensors

    Dati associati a vecchie tipologie
    I dati associati a vecchie tipologie non sono modificabili, derivano dal cambiamento della tipologia di prodotto e hanno solo valore storico.
    Editore
    • IEEE-Institute Of Electrical And Electronics Engineers Inc., Piscataway (Stati Uniti d'America)

    Dati storici
    I dati storici non sono modificabili, sono stati ereditati da altri sistemi (es. Gestione Istituti, PUMA, ...) e hanno solo valore storico.
    Area disciplinareComputer Science & Engineering
    Area valutazione CIVRIngegneria industriale e informatica
    Rivista ISIIEEE SENSORS JOURNAL [14198J0]
    NoteRivista: ISSN: 1530-437X