Consiglio Nazionale delle Ricerche

Tipo di prodottoArticolo in rivista
TitoloA Method to Compensate the Pressure Sensitivity of Integrated Thermal Flow Sensors
Anno di pubblicazione2010
FormatoCartaceo
Autore/iPaolo Bruschi; Michele Dei; Massimo Piotto
Affiliazioni autoriDipartimento di Ingegneria dell'Informazione, University of Pisa, I-56122 Pisa, Italy Dipartimento di Ingegneria dell'Informazione, University of Pisa, I-56122 Pisa, Italy IEIIT-Pisa CNR, 56122 Pisa, Italy
Autori CNR e affiliazioni
  • MASSIMO PIOTTO VQR
Lingua/e
  • inglese
AbstractMicroelectromechanical systems (MEMS)-based thermal flow sensors are considerably more sensitive to pressure than traditional macroscopic devices. This fact, due to the micrometric dimensions of MEMS sensors, limits the accuracy of the latter when large pressure variations cannot be avoided. In this work, we propose an original pressure compensation method that exploits the same signals produced by the flow sensor to detect the pressure variations and to control the heater power according to a closed loop approach. A first-order model is used to explain the operating principle and optimize the parameters of the feedback loop. A readout interface based on the proposed approach, has been built and applied to MEMS thermal flow sensors. Experimental results are presented to demonstrate the effectiveness of the method.
Lingua abstractinglese
Altro abstract-
Lingua altro abstract-
Pagine da1589
Pagine a1597
Pagine totali9
RivistaIEEE sensors journal
Attiva dal 2001
Editore: IEEE Sensors Council, - New York, NY
Paese di pubblicazione: Stati Uniti d'America
Lingua: inglese
ISSN: 1530-437X
Titolo chiave: IEEE sensors journal
Titolo proprio: IEEE sensors journal.
Titolo abbreviato: IEEE sens. j.
Titoli alternativi:
  • Sensors journal
  • Institute of Electrical and Electronics Engineers sensors journal
Numero volume della rivista10
Fascicolo della rivista10
DOI10.1109/JSEN.2010.2046889
Verificato da refereeSì: Internazionale
Stato della pubblicazione-
Indicizzazione (in banche dati controllate)
  • ISI Web of Science (WOS) (Codice:000286311500010)
  • Scopus (Codice:2-s2.0-77955369660)
Parole chiaveKnudsen number, microelectromechanical systems (MEMS), pressure compensation, thermal flow sensors
Link (URL, URI)-
Titolo parallelo-
Data di accettazione-
Note/Altre informazioni-
Strutture CNR
  • IEIIT — IEIIT - UOS di Pisa
Moduli CNR
    Progetti Europei-
    Allegati
    • A Method to Compensate the Pressure Sensitivity of Integrated Thermal Flow Sensors

    Dati associati a vecchie tipologie
    I dati associati a vecchie tipologie non sono modificabili, derivano dal cambiamento della tipologia di prodotto e hanno solo valore storico.
    Editore
    • IEEE-Institute Of Electrical And Electronics Engineers Inc., Piscataway (Stati Uniti d'America)

    Dati storici
    I dati storici non sono modificabili, sono stati ereditati da altri sistemi (es. Gestione Istituti, PUMA, ...) e hanno solo valore storico.
    Area disciplinareComputer Science & Engineering
    Area valutazione CIVRIngegneria industriale e informatica
    Rivista ISIIEEE SENSORS JOURNAL [14198J0]
    NoteISSN: 1530-437X