Consiglio Nazionale delle Ricerche

Tipo di prodottoArticolo in rivista
TitoloA single chip, double channel thermal flow meter
Anno di pubblicazione2009
FormatoCartaceo
Autore/iP. Bruschi; M. Dei; M. Piotto
Affiliazioni autoriDipartimento di Ingegneria dell'Informazione, via G. Caruso 16, 56122 Pisa, Italy Dipartimento di Ingegneria dell'Informazione, via G. Caruso 16, 56122 Pisa, Italy IEIIT Pisa, CNR, via G. Caruso 16, 56122 Pisa, Italy
Autori CNR e affiliazioni
  • MASSIMO PIOTTO
Lingua/e
  • inglese
AbstractThe fabrication and experimental characterization of a thermal flow meter, capable of detecting and measuring two independent gas flows with a single chip, is described. The innovative aspect of the sensor is the use of a plastic adapter, thermally sealed to the chip, to convey the gas flow only to the chip areas where the sensors are located. The packaging approach allowed placing two micrometric differential thermal anemometers, present on 4 × 4 mm 2 silicon chips, into distinct flow channels. The reduced spacing between the sensing structures required positioning of the latter on channel bends, introducing sensitivity reduction and response asymmetries with respect to single channel devices presented earlier. These effects are explained using fluid-dynamic simulations.
Lingua abstractinglese
Altro abstract-
Lingua altro abstract-
Pagine da1179
Pagine a1186
Pagine totali-
RivistaMicrosystem technologies
Attiva dal 1994
Editore: Springer - Berlin
Paese di pubblicazione: Germania
Lingua: inglese
ISSN: 0946-7076
Titolo chiave: Microsystem technologies
Titolo proprio: Microsystem technologies.
Titolo abbreviato: Microsyst. technol.
Titolo alternativo: Microsystem technologies (Print)
Numero volume della rivista15
Fascicolo della rivista8
DOI10.1007/s00542-008-0741-x
Verificato da refereeSì: Internazionale
Stato della pubblicazione-
Indicizzazione (in banche dati controllate)
  • ISI Web of Science (WOS) (Codice:000266983700009)
  • Scopus (Codice:2-s2.0-67649220714)
Parole chiaveIntegrated flow sensors
Link (URL, URI)-
Titolo parallelo-
Data di accettazione-
Note/Altre informazioni-
Strutture CNR
  • IEIIT — Istituto di elettronica e di ingegneria dell'informazione e delle telecomunicazioni
Moduli CNR
    Progetti Europei-
    Allegati
    • A single chip, double channel thermal flow meter

    Dati associati a vecchie tipologie
    I dati associati a vecchie tipologie non sono modificabili, derivano dal cambiamento della tipologia di prodotto e hanno solo valore storico.
    Editore
    • SPRINGER, 233 SPRING ST, NEW YORK, NY 10013 (Stati Uniti d'America)

    Dati storici
    I dati storici non sono modificabili, sono stati ereditati da altri sistemi (es. Gestione Istituti, PUMA, ...) e hanno solo valore storico.
    Area disciplinareElectrical & Electronics Engineering
    Area valutazione CIVRIngegneria industriale e informatica
    Rivista ISIMICROSYSTEM TECHNOLOGIES [8495]