Consiglio Nazionale delle Ricerche

Tipo di prodottoArticolo in rivista
TitoloA double heater integrated gas flow sensor with thermal feedback
Anno di pubblicazione2005
FormatoCartaceo
Autore/iPaolo Bruschi; Alessandro Diligenti; Dino Navarrini; Massimo Piotto
Affiliazioni autoriDipartimento di Ingegneria dell'Informazione, via G. Caruso, I-56122 Pisa, Italy Dipartimento di Ingegneria dell'Informazione, via G. Caruso, I-56122 Pisa, Italy STMicroelectronics, R&D Division, via Olivetti 2, I-20041 Agrate Brianza (MI), Italy IEIIT-Sezione di Pisa, CNR, via G. Caruso, I-56122 Pisa, Italy
Autori CNR e affiliazioni
  • MASSIMO PIOTTO VQR
Lingua/e
  • inglese
AbstractAn integrated thermal sensor for flow rates below 200 sccm, consisting of two central heaters and two thermopiles, located downstream and upstream with respect to the heaters, is presented. The sensor, fabricated by post-processing chips produced with a standard microelectronic process, is operated in closed loop configuration through a single operational amplifier, in such a way that the flow-induced temperature difference between the two thermopiles is cancelled by applying a power mismatch to the two heaters. The output signal is proportional to the heater power unbalance. Static and dynamic electrical characterization of the sensor is performed. The response to nitrogen flow rates has been measured for various gas pressures.
Lingua abstractinglese
Altro abstract-
Lingua altro abstract-
Pagine da210
Pagine a215
Pagine totali6
RivistaSensors and actuators. A, Physical (Print)
Attiva dal 1990
Editore: Elsevier Sequoia - Lausanne
Paese di pubblicazione: Svizzera
Lingua: inglese
ISSN: 0924-4247
Titolo chiave: Sensors and actuators. A, Physical (Print)
Titolo proprio: Sensors and actuators. (Print)
Titolo abbreviato: Sens. actuators, A, Phys. (Print)
Titolo alternativo: Sensors and actuators A (Print)
Numero volume della rivista123-124
Fascicolo della rivista-
DOI10.1016/j.sna.2005.04.023
Verificato da refereeSì: Internazionale
Stato della pubblicazione-
Indicizzazione (in banche dati controllate)
  • ISI Web of Science (WOS) (Codice:000232321800034)
  • Scopus (Codice:2-s2.0-24944559195)
Parole chiaveIntegrated sensors, Flow sensors, Pressure effects, Micromachining
Link (URL, URI)-
Titolo parallelo-
Data di accettazione-
Note/Altre informazioni-
Strutture CNR
  • IEIIT — IEIIT - UOS di Pisa
Moduli CNR
    Progetti Europei-
    Allegati
    • A double heater integrated gas flow sensor with thermal feedback

    Dati associati a vecchie tipologie
    I dati associati a vecchie tipologie non sono modificabili, derivano dal cambiamento della tipologia di prodotto e hanno solo valore storico.
    Editore
    • Elsevier Science SA, Lausanne (Svizzera)

    Dati storici
    I dati storici non sono modificabili, sono stati ereditati da altri sistemi (es. Gestione Istituti, PUMA, ...) e hanno solo valore storico.
    Area disciplinareElectrical & Electronics Engineering
    Area valutazione CIVRIngegneria industriale e informatica
    Rivista ISISENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL [09261J0]