Consiglio Nazionale delle Ricerche

Tipo di prodottoArticolo in rivista
TitoloElectrochemical fabrication of buried folded microchannels into silicon substrates
Anno di pubblicazione2007
FormatoCartaceo
Autore/iG. Barillaro; A. Nannini; M. Piotto
Affiliazioni autoriDipartimento di Ingegneria dell'Informazione: Elettronica, Informatica, Telecomunicazioni, Universita di Pisa, via G. Caruso 16, 56126 Pisa, Italy Dipartimento di Ingegneria dell'Informazione: Elettronica, Informatica, Telecomunicazioni, Universita di Pisa, via G. Caruso 16, 56126 Pisa, Italy IEIIT-Pisa CNR, via G. Caruso 16, 56126 Pisa, Italy
Autori CNR e affiliazioni
  • MASSIMO PIOTTO
Lingua/e
  • inglese
AbstractIn this work an original process for buried folded silicon microchannel fabrication is reported. Electrochemical micromachining is exploited to etch high aspect ratio meander-shaped trenches into a silicon substrate. Thermal oxidation is then employed to seal the top of etched trenches and obtain buried microchannels at the bottom. The process is straightforward and allows the integration of buried folded channels into silicon substrates with a high density. Experimental results are reported and advantages and drawbacks of the proposed process are discussed.
Lingua abstractinglese
Altro abstract-
Lingua altro abstract-
Pagine da1464
Pagine a1468
Pagine totali-
RivistaPhysica status solidi. A, Applied research
Attiva dal 1970 al 2004
Editore: Wiley-VCH-Verl.. - Weinheim
Paese di pubblicazione: Germania
Lingua: inglese
ISSN: 0031-8965
Titolo chiave: Physica status solidi. A, Applied research
Titolo proprio: Physica status solidi.
Titolo abbreviato: Phys. status solidi, A Appl. res.
Titoli alternativi:
  • Pss. A (1970. Print)
  • Physica status solidi. A, Applied research (Print)
  • Physica status solidi. A (1970. Print)
Numero volume della rivista204
Fascicolo della rivista5
DOI10.1002/pssa.200674386
Verificato da refereeSì: Internazionale
Stato della pubblicazione-
Indicizzazione (in banche dati controllate)
  • ISI Web of Science (WOS) (Codice:000246642300045)
  • Scopus (Codice:2-s2.0-34547173269)
Parole chiave-
Link (URL, URI)-
Titolo parallelo-
Data di accettazione-
Note/Altre informazioni-
Strutture CNR
  • IEIIT — IEIIT - UOS di Pisa
Moduli CNR
    Progetti Europei-
    Allegati
    • Electrochemical fabrication of buried folded microchannels into silicon substrates

    Dati associati a vecchie tipologie
    I dati associati a vecchie tipologie non sono modificabili, derivano dal cambiamento della tipologia di prodotto e hanno solo valore storico.
    Editore
    • WILEY-V C H VERLAG GMBH, WEINHEIM (Germania)

    Dati storici
    I dati storici non sono modificabili, sono stati ereditati da altri sistemi (es. Gestione Istituti, PUMA, ...) e hanno solo valore storico.
    Area disciplinareElectrical & Electronics Engineering
    Area valutazione CIVRIngegneria industriale e informatica
    Rivista ISIPHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLICATIONS AND MATERIALS SCIENCE [00092NN]