Consiglio Nazionale delle Ricerche

Tipo di prodottoArticolo in rivista
TitoloEffects of gas type on the sensitivity and transition pressure of integrated thermal flow sensors
Anno di pubblicazione2006
FormatoCartaceo
Autore/iP. Bruschi; M. Piotto; G. Barillaro
Affiliazioni autoriDipartimento di Ingegneria dell'Informazione, via G. Caruso, I-56122 Pisa, Italy IEIIT-Pisa, CNR, via G. Caruso, I-56122, Pisa, Italy
Autori CNR e affiliazioni
  • MASSIMO PIOTTO VQR
Lingua/e
  • inglese
AbstractThe effects caused on the response of integrated thermal flow sensors by operating pressure and gas type changes are investigated. The sensors are conventional differential temperature calorimeters fabricated by applying two post-processing steps to standard microelectronic chips. Differences in terms of sensitivity and linearity have been observed for Xe, Ar and N2 in the flow rate interval 0-200 sccm. The progressive sensitivity reduction caused by decreasing the pressure from 100 to 12 kPa is ascribed to the onset of the transition to free molecular heat exchange regime. Estimation of the transition pressure for the three gases under test is presented.
Lingua abstractinglese
Altro abstract-
Lingua altro abstract-
Pagine da182
Pagine a187
Pagine totali6
RivistaSensors and actuators. A, Physical (Print)
Attiva dal 1990
Editore: Elsevier Sequoia - Lausanne
Paese di pubblicazione: Svizzera
Lingua: inglese
ISSN: 0924-4247
Titolo chiave: Sensors and actuators. A, Physical (Print)
Titolo proprio: Sensors and actuators. (Print)
Titolo abbreviato: Sens. actuators, A, Phys. (Print)
Titolo alternativo: Sensors and actuators A (Print)
Numero volume della rivista132
Fascicolo della rivista-
DOI10.1016/j.sna.2006.03.021
Verificato da refereeSì: Internazionale
Stato della pubblicazione-
Indicizzazione (in banche dati controllate)
  • ISI Web of Science (WOS) (Codice:000242126800027)
  • Scopus (Codice:2-s2.0-33751120466)
Parole chiaveFlow sensors, Integrated sensors, Pressure dependence, Gas type dependence
Link (URL, URI)-
Titolo parallelo-
Data di accettazione-
Note/Altre informazioni-
Strutture CNR
  • IEIIT — IEIIT - UOS di Pisa
Moduli CNR
    Progetti Europei-
    Allegati
    • Effects of gas type on the sensitivity and transition pressure of integrated thermal flow sensors

    Dati associati a vecchie tipologie
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    Editore
    • Elsevier Science SA, Lausanne (Svizzera)

    Dati storici
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    Rivista ISISENSORS AND ACTUATORS [03674J0]