Consiglio Nazionale delle Ricerche

Tipo di prodottoArticolo in rivista
TitoloA Closed-Loop Mass Flow Controller Based on Static Solid-State Devices
Anno di pubblicazione2006
FormatoCartaceo
Autore/iPaolo Bruschi; Dino Navarrini; Massimo Piotto
Affiliazioni autoriDipartimento di Ingegneria dell'Informazione, Università di Pisa, I-56122 Pisa, Italy Dipartimento di Ingegneria dell'Informazione, Università di Pisa, I-56122 Pisa, Italy IEIIT, Sezione di Pisa, CNR, I-56122 Pisa, Italy
Autori CNR e affiliazioni
  • MASSIMO PIOTTO VQR
Lingua/e
  • inglese
AbstractA mass flow controller, based on an integrated flow sensor and a thermally actuated solid state regulator, is presented. The sensor is a miniaturized differential calorimeter obtained by postprocessing a silicon chip fabricated by a standard microelectronic process. The regulator consists in a microchannel etched into the surface of a silicon substrate and sealed with a glass plate, joined to the silicon die using anodic bonding. Flow regulation is achieved by varying the channel temperature by means of a chromium resistor. The two devices are connected in closed-loop through a low noise--low offset electronic circuit. Experimental data, demonstrating the effectiveness of the flow controller, are presented. Limitations of the proposed approach and possible improvements are discussed.
Lingua abstractinglese
Altro abstract-
Lingua altro abstract-
Pagine da652
Pagine a658
Pagine totali7
RivistaJournal of microelectromechanical systems
Attiva dal 1992
Editore: Institute of Electrical and Electronics Engineers, - New York, NY
Paese di pubblicazione: Stati Uniti d'America
Lingua: inglese
ISSN: 1057-7157
Titolo chiave: Journal of microelectromechanical systems
Titolo proprio: Journal of microelectromechanical systems
Titolo alternativo: Microelectromechanical systems
Numero volume della rivista15
Fascicolo della rivista3
DOI10.1109/JMEMS.2006.876785
Verificato da refereeSì: Internazionale
Stato della pubblicazione-
Indicizzazione (in banche dati controllate)
  • ISI Web of Science (WOS) (Codice:000238311000023)
  • Scopus (Codice:2-s2.0-33745154501)
Parole chiaveMass flow control, micromachining, pressure, thermal
Link (URL, URI)-
Titolo parallelo-
Data di accettazione-
Note/Altre informazioni-
Strutture CNR
  • IEIIT — IEIIT - UOS di Pisa
Moduli CNR
    Progetti Europei-
    Allegati
    • A Closed-Loop Mass Flow Controller Based on Static Solid-State Devices

    Dati associati a vecchie tipologie
    I dati associati a vecchie tipologie non sono modificabili, derivano dal cambiamento della tipologia di prodotto e hanno solo valore storico.
    Editore
    • IEEE, Institute of electrical and electronics engineers, New York (Stati Uniti d'America)

    Dati storici
    I dati storici non sono modificabili, sono stati ereditati da altri sistemi (es. Gestione Istituti, PUMA, ...) e hanno solo valore storico.
    Rivista ISIJOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS [11005J0]