Consiglio Nazionale delle Ricerche

Tipo di prodottoArticolo in rivista
TitoloA low cost high resolution pattern generator for electron beam lithography
Anno di pubblicazione2003
FormatoCartaceo
Autore/iG. Pennelli; F. D'Angelo; M. Piotto; G. Barillaro; B. Pellegrini
Affiliazioni autoriDipartimento di Ingegneria dell'Informazione: Elettronica, Informatica, Telecomunicazioni, Universita´ di Pisa, 56126 Pisa, Italy Dipartimento di Ingegneria dell'Informazione: Elettronica, Informatica, Telecomunicazioni, Universita´ di Pisa, 56126 Pisa, Italy Istituto di Elettronica e di Ingegneria dell'Informazione e delle Telecomunicazioni, Sezione di Pisa, Consiglio Nazionale delle Ricerche, 56126 Pisa, Italy Dipartimento di Ingegneria dell'Informazione: Elettronica, Informatica, Telecomunicazioni, Universita´ di Pisa, 56126 Pisa, Italy Dipartimento di Ingegneria dell'Informazione: Elettronica, Informatica, Telecomunicazioni, Universita´ di Pisa, 56126 Pisa, Italy
Autori CNR e affiliazioni
  • MASSIMO PIOTTO
Lingua/e
  • inglese
AbstractA simple, very low cost pattern generator for electron-beam lithography is presented. When it is applied to a scanning electron microscope, the system allows a high precision positioning of the beam for lithography of very small structures. Patterns are generated by a suitable software implemented on a personal computer, by using very simple functions, allowing an easy development of new writing strategies for a great adaptability to different user necessities. Hardware solutions, as optocouplers and battery supply, have been implemented for reduction of noise and disturbs on the voltages controlling the positioning of the beam.
Lingua abstractinglese
Altro abstract-
Lingua altro abstract-
Pagine da3579
Pagine a3582
Pagine totali-
RivistaReview of scientific instruments
Attiva dal 1930
Editore: American Institute of Physics - [Woodbury, N.Y.]
Paese di pubblicazione: Stati Uniti d'America
Lingua: inglese
ISSN: 0034-6748
Titolo chiave: Review of scientific instruments
Titolo proprio: Review of scientific instruments.
Titolo abbreviato: Rev. sci. instrum.
Numero volume della rivista74
Fascicolo della rivista7
DOI10.1063/1.1583861
Verificato da refereeSì: Internazionale
Stato della pubblicazione-
Indicizzazione (in banche dati controllate)
  • ISI Web of Science (WOS) (Codice:000183756500057)
  • Scopus (Codice:2-s2.0-0042768108)
Parole chiave-
Link (URL, URI)-
Titolo parallelo-
Data di accettazione-
Note/Altre informazioni-
Strutture CNR
  • IEIIT — IEIIT - UOS di Pisa
Moduli CNR-
Progetti Europei-
Allegati
  • A low cost high resolution pattern generator for electron beam lithography

Dati associati a vecchie tipologie
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Editore
  • American Institute of Physics, Woodbury [NY] (Stati Uniti d'America)

Dati storici
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Rivista ISIREVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS [85624J0]