Consiglio Nazionale delle Ricerche

Tipo di prodottoArticolo in rivista
TitoloElectrical and Noise Characterization of Suspended Silicon Wires
Anno di pubblicazione2002
FormatoCartaceo
Autore/iM. Macucci; B. Pellegrini; G. Pennelli; M. Piotto
Affiliazioni autoriDipartimento di Ingegneria della Informazione: Elettronica, Informatica, Telecomunicazioni, Universita` di Pisa, Italy Dipartimento di Ingegneria della Informazione: Elettronica, Informatica, Telecomunicazioni, Universita` di Pisa, Italy Dipartimento di Ingegneria della Informazione: Elettronica, Informatica, Telecomunicazioni, Universita` di Pisa, Italy Dipartimento di Ingegneria della Informazione: Elettronica, Informatica, Telecomunicazioni, Universita` di Pisa, Italy
Autori CNR e affiliazioni
  • MASSIMO PIOTTO
Lingua/e
  • inglese
AbstractWe present the fabrication of suspended silicon nanowires using 1 mum resolution conventional photolithography, anisotropic wet etching and thermal oxidation. A minimum transverse dimension of about 50 nm was achieved in some of the wires. We characterized the wires from the electrical and noise points of view, comparing the behavior at room temperature and at 77 K, and discuss possible hypotheses to explain the observed differences.
Lingua abstractinglese
Altro abstract-
Lingua altro abstract-
Pagine da701
Pagine a705
Pagine totali-
RivistaMicroelectronic engineering
Attiva dal 1983
Editore: North-Holland - Amsterdam
Paese di pubblicazione: Paesi Bassi
Lingua: inglese
ISSN: 0167-9317
Titolo chiave: Microelectronic engineering
Titolo proprio: Microelectronic engineering.
Titolo abbreviato: Microelectron. eng.
Numero volume della rivista61-62
Fascicolo della rivista-
DOI10.1016/S0167-9317(02)00439-2
Verificato da refereeSì: Internazionale
Stato della pubblicazione-
Indicizzazione (in banche dati controllate)
  • ISI Web of Science (WOS) (Codice:000176594700098)
  • Scopus (Codice:2-s2.0-0036643584)
Parole chiaveNanowires, Silicon, Flicker noise, Cryogenic, Micromachining
Link (URL, URI)-
Titolo parallelo-
Data di accettazione-
Note/Altre informazioni-
Strutture CNR
  • IEIIT — Istituto di elettronica e di ingegneria dell'informazione e delle telecomunicazioni
Moduli CNR-
Progetti Europei-
Allegati
  • Electrical and Noise Characterization of Suspended Silicon Wires

Dati associati a vecchie tipologie
I dati associati a vecchie tipologie non sono modificabili, derivano dal cambiamento della tipologia di prodotto e hanno solo valore storico.
Editore
  • North Holland Pub. Co., Amsterdam (Paesi Bassi)

Dati storici
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Rivista ISIMICROELECTRONIC ENGINEERING [09547J0]