Consiglio Nazionale delle Ricerche

Tipo di prodottoArticolo in rivista
TitoloA micromachined Xenon flow regulator for space applications
Anno di pubblicazione2000
FormatoCartaceo
Autore/iA. Diligenti; A. Nannini; F. Pieri; M. Piotto; G. Noci
Affiliazioni autoriDipartimento di Ingegneria dell' Informazione: Elettronica, Informatica, Telecomunicazioni, Università di Pisa, Italy Dipartimento di Ingegneria dell' Informazione: Elettronica, Informatica, Telecomunicazioni, Università di Pisa, Italy Dipartimento di Ingegneria dell' Informazione: Elettronica, Informatica, Telecomunicazioni, Università di Pisa, Italy Dipartimento di Ingegneria dell' Informazione: Elettronica, Informatica, Telecomunicazioni, Università di Pisa, Italy Laben/Divisione Proel Tecnologie, Firenze, Italy
Autori CNR e affiliazioni
  • MASSIMO PIOTTO
Lingua/e
  • inglese
AbstractA Xenon how regulator based on the dependence of the mass flow from the absolute temperature of the gas pipeline, is proposed. The device is fabricated by means of micromachining and has an area of 1 cm(2) and a weight of few grams. The pipeline is integrated on a silicon substrate while the heater is a chromium resistor deposited on the glass cover: silicon substrate and glass cover are bonded together by means of the anodic bonding technique. Measurements of the dependence of the mass flow from the pressure drop and the absolute temperature are presented and discussed.
Lingua abstractinglese
Altro abstract-
Lingua altro abstract-
Pagine da565
Pagine a568
Pagine totali-
RivistaMicroelectronic engineering
Attiva dal 1983
Editore: North-Holland - Amsterdam
Paese di pubblicazione: Paesi Bassi
Lingua: inglese
ISSN: 0167-9317
Titolo chiave: Microelectronic engineering
Titolo proprio: Microelectronic engineering.
Titolo abbreviato: Microelectron. eng.
Numero volume della rivista53
Fascicolo della rivista1-4
DOI10.1016/S0167-9317(00)00379-8
Verificato da refereeSì: Internazionale
Stato della pubblicazione-
Indicizzazione (in banche dati controllate)
  • ISI Web of Science (WOS) (Codice:000088603300122)
  • Scopus (Codice:2-s2.0-0034206466)
Parole chiave-
Link (URL, URI)-
Titolo parallelo-
Data di accettazione-
Note/Altre informazioni-
Strutture CNR
  • IEIIT — IEIIT - UOS di Pisa
Moduli CNR-
Progetti Europei-
Allegati
  • A micromachined Xenon flow regulator for space applications

Dati associati a vecchie tipologie
I dati associati a vecchie tipologie non sono modificabili, derivano dal cambiamento della tipologia di prodotto e hanno solo valore storico.
Editore
  • North Holland Pub. Co., Amsterdam (Paesi Bassi)