| Tipo di prodotto | Articolo in rivista |
|---|---|
| Titolo | A micromachined Xenon flow regulator for space applications |
| Anno di pubblicazione | 2000 |
| Formato | Cartaceo |
| Autore/i | A. Diligenti; A. Nannini; F. Pieri; M. Piotto; G. Noci |
| Affiliazioni autori | Dipartimento di Ingegneria dell' Informazione: Elettronica, Informatica, Telecomunicazioni, Università di Pisa, Italy Dipartimento di Ingegneria dell' Informazione: Elettronica, Informatica, Telecomunicazioni, Università di Pisa, Italy Dipartimento di Ingegneria dell' Informazione: Elettronica, Informatica, Telecomunicazioni, Università di Pisa, Italy Dipartimento di Ingegneria dell' Informazione: Elettronica, Informatica, Telecomunicazioni, Università di Pisa, Italy Laben/Divisione Proel Tecnologie, Firenze, Italy |
| Autori CNR e affiliazioni |
|
| Lingua/e |
|
| Abstract | A Xenon how regulator based on the dependence of the mass flow from the absolute temperature of the gas pipeline, is proposed. The device is fabricated by means of micromachining and has an area of 1 cm(2) and a weight of few grams. The pipeline is integrated on a silicon substrate while the heater is a chromium resistor deposited on the glass cover: silicon substrate and glass cover are bonded together by means of the anodic bonding technique. Measurements of the dependence of the mass flow from the pressure drop and the absolute temperature are presented and discussed. |
| Lingua abstract | inglese |
| Altro abstract | - |
| Lingua altro abstract | - |
| Pagine da | 565 |
| Pagine a | 568 |
| Pagine totali | - |
| Rivista | Microelectronic engineering Attiva dal 1983 Editore: North-Holland - Amsterdam Paese di pubblicazione: Paesi Bassi Lingua: inglese ISSN: 0167-9317 Titolo chiave: Microelectronic engineering Titolo proprio: Microelectronic engineering. Titolo abbreviato: Microelectron. eng. |
| Numero volume della rivista | 53 |
| Fascicolo della rivista | 1-4 |
| DOI | 10.1016/S0167-9317(00)00379-8 |
| Verificato da referee | Sì: Internazionale |
| Stato della pubblicazione | - |
| Indicizzazione (in banche dati controllate) |
|
| Parole chiave | - |
| Link (URL, URI) | - |
| Titolo parallelo | - |
| Data di accettazione | - |
| Note/Altre informazioni | - |
| Strutture CNR |
|
| Moduli CNR | - |
| Progetti Europei | - |
| Allegati |
|
| Editore |
|
|---|
