Consiglio Nazionale delle Ricerche

Tipo di prodottoArticolo in rivista
TitoloMicromachined silicon suspended wires with submicrometric dimensions
Anno di pubblicazione2001
FormatoCartaceo
Autore/iBruschi, P; Diligenti, A ; Piotto, M
Affiliazioni autoriDipartimento di Ingegneria dell' Informazione: Elettronica, Informatica, Telecomunicazioni, Universita` degli Studi di Pisa, via Diotisalvi, 2, I-56126 Pisa, Italy
Autori CNR e affiliazioni
  • MASSIMO PIOTTO
Lingua/e
  • inglese
AbstractSilicon suspended wires with a cross section of about 0.25 mum(2) have been fabricated by means of a simple process, starting from a SOI n-type wafer. Standard lithography, isotropic and anisotropic etchings were used. The process requires only two masks with a minimum dimension of 4 mum. After the definition of the suspended structures a further oxidation step was performed in order to reduce the silicon core dimensions. Particular care was devoted to the rinsing step to avoid any sticking problem to the substrate.
Lingua abstractinglese
Altro abstract-
Lingua altro abstract-
Pagine da959
Pagine a965
Pagine totali-
RivistaMicroelectronic engineering
Attiva dal 1983
Editore: North-Holland - Amsterdam
Paese di pubblicazione: Paesi Bassi
Lingua: inglese
ISSN: 0167-9317
Titolo chiave: Microelectronic engineering
Titolo proprio: Microelectronic engineering.
Titolo abbreviato: Microelectron. eng.
Numero volume della rivista57-8
Fascicolo della rivista-
DOI-
Verificato da refereeSì: Internazionale
Stato della pubblicazione-
Indicizzazione (in banche dati controllate)
  • ISI Web of Science (WOS) (Codice:000171061800131)
  • Scopus (Codice:2-s2.0-0035450022)
Parole chiaveSOI, micromachining, silicon wire, nanostructures
Link (URL, URI)-
Titolo parallelo-
Data di accettazione-
Note/Altre informazioni-
Strutture CNR
  • IEIIT — IEIIT - UOS di Pisa
Moduli CNR-
Progetti Europei-
Allegati
  • Micromachined silicon suspended wires with submicrometric dimensions

Dati associati a vecchie tipologie
I dati associati a vecchie tipologie non sono modificabili, derivano dal cambiamento della tipologia di prodotto e hanno solo valore storico.
Editore
  • North Holland Pub. Co., Amsterdam (Paesi Bassi)