Consiglio Nazionale delle Ricerche

Tipo di prodottoArticolo in rivista
TitoloDesign Issues for Low Power Integrated Thermal Flow Sensors with Ultra-Wide Dynamic Range and Low Insertion Loss
Anno di pubblicazione2012
Autore/iPaolo Bruschi; Massimo Piotto
Affiliazioni autoriDipartimento di Ingegneria dell'Informazione, University of Pisa, via G. Caruso 16, Pisa, Italy Istituto di Elettronica e di Ingegneria dell'Informazione e delle Telecomunicazioni, Pisa, CNR, via G. Caruso 16, Pisa, Italy
Autori CNR e affiliazioni
  • inglese
AbstractFlow sensors are the key elements in most systems for monitoring and controlling fluid flows. With the introduction of MEMS thermal flow sensors, unprecedented performances, such as ultra wide measurement ranges, low power consumptions and extreme miniaturization, have been achieved, although several critical issues have still to be solved. In this work, a systematic approach to the design of integrated thermal flow sensors, with specification of resolution, dynamic range, power consumption and pressure insertion loss is proposed. All the critical components of the sensors, namely thermal microstructure, package and read-out interface are examined, showing their impact on the sensor performance and indicating effective optimization strategies. The proposed design procedures are supported by experiments performed using a recently developed test chip, including several different sensing structures and a flexible electronic interface.
Lingua abstractinglese
Altro abstract-
Lingua altro abstract-
Pagine da295
Pagine a314
Pagine totali20
RivistaMicromachines (Basel)
Attiva dal 2010
Editore: Molecular Diversity Preservation Internationa - Basel
Lingua: inglese
ISSN: 2072-666X
Titolo chiave: Micromachines (Basel)
Titolo proprio: Micromachines. (Basel)
Titolo abbreviato: Micromachines (Basel)
Numero volume della rivista3
Fascicolo della rivista-
Verificato da refereeSì: Internazionale
Stato della pubblicazione-
Indicizzazione (in banche dati controllate)
  • Scopus (Codice:2-s2.0-84874493786)
Parole chiavethermal flow sensors, device optimization, MEMS, multi heater, sensitivity
Link (URL, URI)-
Titolo parallelo-
Data di accettazione-
Note/Altre informazioni-
Strutture CNR
  • IEIIT — IEIIT - UOS di Pisa
Moduli/Attività/Sottoprogetti CNR
  • ICT.P07.001.001 : Sistemi e dispositivi per le tecnologie dell'informazione
Progetti Europei-
Design Issues for Low Power Integrated Thermal Flow Sensors with Ultra-Wide Dynamic Range and Low Insertion Loss (documento privato )
Tipo documento: "application/octet-stream"

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