@prefix pubblicazioni: . @prefix unitaDiPersonaleInterno: . @prefix prodotto: . unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA39215 pubblicazioni:autoreCNRDi prodotto:ID87054 . @prefix prodottidellaricerca: . @prefix istituto: . istituto:CDS057 prodottidellaricerca:prodotto prodotto:ID87054 . @prefix unitaDiPersonaleEsterno: . unitaDiPersonaleEsterno:ID10542 pubblicazioni:autoreCNRDi prodotto:ID87054 . @prefix modulo: . modulo:ID6192 prodottidellaricerca:prodotto prodotto:ID87054 . unitaDiPersonaleEsterno:ID2577 pubblicazioni:autoreCNRDi prodotto:ID87054 . @prefix rdf: . prodotto:ID87054 rdf:type prodotto:TIPO1301 . @prefix retescientifica: . prodotto:ID87054 rdf:type retescientifica:ProdottoDellaRicerca . @prefix rdfs: . prodotto:ID87054 rdfs:label "Alumina and LTCC Technology for RF MEMS Switches and True Time Delay Lines (Contributo in atti di convegno)"@en . @prefix xsd: . prodotto:ID87054 pubblicazioni:anno "2008-01-01T00:00:00+01:00"^^xsd:gYear ; pubblicazioni:doi "10.1109/EMICC.2008.4772305"^^xsd:string . @prefix skos: . prodotto:ID87054 skos:altLabel "
Buttiglione R, Catoni S, De Angelis G, Dispenza M, Fiorello A, Kautio K, Ladhes M, Marcelli R, Ronka K (2008)
Alumina and LTCC Technology for RF MEMS Switches and True Time Delay Lines
in 3rd European Microwave Integrated Circuits Conference, EuMW 2008, Amsterdam, The Netherlands, 27-31 October 2008
"^^rdf:HTML ; pubblicazioni:autori "Buttiglione R, Catoni S, De Angelis G, Dispenza M, Fiorello A, Kautio K, Ladhes M, Marcelli R, Ronka K"^^xsd:string ; pubblicazioni:paginaInizio "366"^^xsd:string ; pubblicazioni:paginaFine "369"^^xsd:string ; pubblicazioni:titoloVolume "Proceedings of the 3rd European Microwave Integrated Circuits Conference, EuMW 2008"^^xsd:string ; pubblicazioni:pagineTotali "4"^^xsd:string ; skos:note "ISI Web of Science (WOS)"^^xsd:string ; pubblicazioni:affiliazioni "CNR-IMM Roma\nSELEX-SI, Roma\nVTT Oulu, Finland"^^xsd:string ; pubblicazioni:titolo "Alumina and LTCC Technology for RF MEMS Switches and True Time Delay Lines"^^xsd:string ; pubblicazioni:isbn "978-2-87487-007-1"^^xsd:string ; pubblicazioni:autoriVolume "AA.VV."^^xsd:string ; prodottidellaricerca:abstract "The technology for the realization of RF MEMS ohmic series switches on LTCC substrates has been set up for their implementation in true time delay line configurations. Alumina and LTCC structures for validating the technological process on the individual switches have been obtained and characterized. Static delay lines on LTCC have been manufactured and tested to get the expected electrical performances for the final configuration."@en . @prefix ns12: . prodotto:ID87054 pubblicazioni:editore ns12:ID14063 ; prodottidellaricerca:prodottoDi modulo:ID6192 , istituto:CDS057 ; pubblicazioni:autoreCNR unitaDiPersonaleEsterno:ID10542 , unitaDiPersonaleEsterno:ID2577 , unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA39215 . @prefix parolechiave: . prodotto:ID87054 parolechiave:insiemeDiParoleChiave . ns12:ID14063 pubblicazioni:editoreDi prodotto:ID87054 . parolechiave:insiemeDiParoleChiaveDi prodotto:ID87054 .