@prefix rdf: . @prefix prodotto: . prodotto:ID86866 rdf:type prodotto:TIPO1301 . @prefix retescientifica: . prodotto:ID86866 rdf:type retescientifica:ProdottoDellaRicerca . @prefix rdfs: . prodotto:ID86866 rdfs:label "An optimized front-side micromachining process for dielectric membranes using TMAH (Contributo in atti di convegno)"@en . @prefix xsd: . @prefix pubblicazioni: . prodotto:ID86866 pubblicazioni:anno "2004-01-01T00:00:00+01:00"^^xsd:gYear . @prefix skos: . prodotto:ID86866 skos:altLabel "
Mancarella F, Roncaglia A, Cardinali GC, Tamarri F, Passini M (2004)
An optimized front-side micromachining process for dielectric membranes using TMAH
in 9th Italian Conference on Sensors and Microsystems (AISEM 2004), Ferrara (Italy)
"^^rdf:HTML ; pubblicazioni:autori "Mancarella F, Roncaglia A, Cardinali GC, Tamarri F, Passini M"^^xsd:string ; pubblicazioni:affiliazioni "CNR IMM Bologna, I-40129 Bologna, Italy"^^xsd:string ; pubblicazioni:titolo "An optimized front-side micromachining process for dielectric membranes using TMAH"^^xsd:string . @prefix prodottidellaricerca: . @prefix modulo: . prodotto:ID86866 prodottidellaricerca:prodottoDi modulo:ID2680 . @prefix istituto: . prodotto:ID86866 prodottidellaricerca:prodottoDi istituto:CDS057 . @prefix unitaDiPersonaleInterno: . prodotto:ID86866 pubblicazioni:autoreCNR unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA855 . @prefix unitaDiPersonaleEsterno: . prodotto:ID86866 pubblicazioni:autoreCNR unitaDiPersonaleEsterno:ID2622 , unitaDiPersonaleEsterno:ID922 , unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA29021 , unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA8651 . unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA29021 pubblicazioni:autoreCNRDi prodotto:ID86866 . istituto:CDS057 prodottidellaricerca:prodotto prodotto:ID86866 . unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA855 pubblicazioni:autoreCNRDi prodotto:ID86866 . unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA8651 pubblicazioni:autoreCNRDi prodotto:ID86866 . unitaDiPersonaleEsterno:ID922 pubblicazioni:autoreCNRDi prodotto:ID86866 . unitaDiPersonaleEsterno:ID2622 pubblicazioni:autoreCNRDi prodotto:ID86866 . modulo:ID2680 prodottidellaricerca:prodotto prodotto:ID86866 .