@prefix prodottidellaricerca: . @prefix istituto: . @prefix prodotto: . istituto:CDS036 prodottidellaricerca:prodotto prodotto:ID81590 . @prefix pubblicazioni: . @prefix unitaDiPersonaleInterno: . unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA5423 pubblicazioni:autoreCNRDi prodotto:ID81590 . @prefix rdf: . @prefix retescientifica: . prodotto:ID81590 rdf:type retescientifica:ProdottoDellaRicerca , prodotto:TIPO1301 . @prefix rdfs: . prodotto:ID81590 rdfs:label "Progress report on a 14.4-nm micro-exposure tool based on a laser-produced-plasma: debris mitigation system results and other issues (Contributo in atti di convegno)"@en . @prefix xsd: . prodotto:ID81590 pubblicazioni:anno "2007-01-01T00:00:00+01:00"^^xsd:gYear . @prefix skos: . prodotto:ID81590 skos:altLabel "
S. Bollanti, D. Amodio, A. Conti, P. Di Lazzaro, F. Flora, L. Mezi, D. Murra, A. Torre, C. E. Zheng, D. Garoli, M. G. Pelizzo, P. Nicolosi, V. Mattarello, V. Rigato, and A. Gerardino (2007)
Progress report on a 14.4-nm micro-exposure tool based on a laser-produced-plasma: debris mitigation system results and other issues
in Proc. SPIE 6703, 670308
"^^rdf:HTML ; pubblicazioni:autori "S. Bollanti, D. Amodio, A. Conti, P. Di Lazzaro, F. Flora, L. Mezi, D. Murra, A. Torre, C. E. Zheng, D. Garoli, M. G. Pelizzo, P. Nicolosi, V. Mattarello, V. Rigato, and A. Gerardino"^^xsd:string ; pubblicazioni:paginaInizio "670308"^^xsd:string ; pubblicazioni:titoloVolume "Proc. SPIE, Ultrafast X-Ray Sources and Detectors"^^xsd:string ; pubblicazioni:numeroVolume "6703"^^xsd:string . @prefix ns10: . prodotto:ID81590 pubblicazioni:rivista ns10:ID427570 ; pubblicazioni:affiliazioni "ENEA Frascati, INFN Legnaro, Universita' di Padova, CNR-INFM etc"^^xsd:string ; pubblicazioni:titolo "Progress report on a 14.4-nm micro-exposure tool based on a laser-produced-plasma: debris mitigation system results and other issues"^^xsd:string . @prefix modulo: . prodotto:ID81590 prodottidellaricerca:prodottoDi modulo:ID2794 , istituto:CDS036 . @prefix unitaDiPersonaleEsterno: . prodotto:ID81590 pubblicazioni:autoreCNR unitaDiPersonaleEsterno:ID16706 , unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA27632 , unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA5423 . unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA27632 pubblicazioni:autoreCNRDi prodotto:ID81590 . unitaDiPersonaleEsterno:ID16706 pubblicazioni:autoreCNRDi prodotto:ID81590 . modulo:ID2794 prodottidellaricerca:prodotto prodotto:ID81590 . ns10:ID427570 pubblicazioni:rivistaDi prodotto:ID81590 .