@prefix prodottidellaricerca: . @prefix istituto: . @prefix prodotto: . istituto:CDS063 prodottidellaricerca:prodotto prodotto:ID39853 . @prefix pubblicazioni: . @prefix unitaDiPersonaleInterno: . unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA491 pubblicazioni:autoreCNRDi prodotto:ID39853 . @prefix modulo: . modulo:ID2686 prodottidellaricerca:prodotto prodotto:ID39853 . @prefix rdf: . @prefix retescientifica: . prodotto:ID39853 rdf:type retescientifica:ProdottoDellaRicerca , prodotto:TIPO1101 . @prefix rdfs: . prodotto:ID39853 rdfs:label "Time resolved imaging studies of the plasma produced by laser ablation of silicon in O-2/Ar atmosphere (Articolo in rivista)"@en . @prefix xsd: . prodotto:ID39853 pubblicazioni:anno "2005-01-01T00:00:00+01:00"^^xsd:gYear ; pubblicazioni:doi "10.1017/S026303460505024X"^^xsd:string . @prefix skos: . prodotto:ID39853 skos:altLabel "
Trusso S.; Barletta E.; Barreca F.; Fazio E.; Neri F. (2005)
Time resolved imaging studies of the plasma produced by laser ablation of silicon in O-2/Ar atmosphere
in Laser and particle beams (Print); Cambridge University Press, Cambridge (Regno Unito)
"^^rdf:HTML ; pubblicazioni:autori "Trusso S.; Barletta E.; Barreca F.; Fazio E.; Neri F."^^xsd:string ; pubblicazioni:paginaInizio "149"^^xsd:string ; pubblicazioni:paginaFine "153"^^xsd:string ; pubblicazioni:altreInformazioni "Impact Factor ISI 2005: 2.590;\nNumero di citazioni al 31/12/2011: 24;"^^xsd:string ; pubblicazioni:numeroVolume "23"^^xsd:string . @prefix ns11: . prodotto:ID39853 pubblicazioni:rivista ns11:ID443919 ; skos:note "ISI Web of Science (WOS)"^^xsd:string , "Scopu"^^xsd:string , "Google Scholar"^^xsd:string ; pubblicazioni:affiliazioni "[Trusso S.]CNR-Istituto per i Processi Chimico-Fisici,UOS di Messina, Messina, Italy;\n[Barletta E.] Dipartimento di Fisica della Materia e Tecnologie Fisiche Avanzate, Universit\u00E0 di Messina, Messina, Italy;\n[Neri F.] Dipartimento di Fisica della Materia e Tecnologie Fisiche Avanzate, Universit\u00E0 di Messina, Messina, Italy;\n[Barreca F.] Dipartimento di Fisica della Materia e Tecnologie Fisiche Avanzate, Universit\u00E0 di Messina, Messina, Italy;\n[ Fazio E.] Dipartimento di Fisica della Materia e Tecnologie Fisiche Avanzate, Universit\u00E0 di Messina, Messina, Italy;"^^xsd:string ; pubblicazioni:titolo "Time resolved imaging studies of the plasma produced by laser ablation of silicon in O-2/Ar atmosphere"^^xsd:string ; prodottidellaricerca:abstract "The dynamics of the expansion plasma produced by excimer laser ablation of a silicon target into oxygen and mixed O-2/Ar atmosphere were studied by means of time-resolved imaging of the expanding plume. Experiments were performed in pure oxygen, ranging between 0.13 and 13.33 Pa, and at different O-2/Ar ratios at a fixed total pressure of 13.33 Pa. The occurrence of a shock wave (SW) generated by the supersonic expansion of the plasma was observed at high pressure values. The presence of the SW had a strong influence on the structure of SiOx thin films. In fact, silicon dioxide thin films were always obtained in presence of the SW, irrespective of the oxygen content in the gaseous mixture. On the contrary, suboxide thin films were obtained when the expansion occurred at lower pressure values (no SW presence). The temperature rise following the developing of the SW, is supposed to enhance the oxygen molecules dissociation by increasing the efficiency of the silicon oxidation reaction." . @prefix ns12: . prodotto:ID39853 pubblicazioni:editore ns12:ID178 ; prodottidellaricerca:prodottoDi modulo:ID2686 , istituto:CDS063 ; pubblicazioni:autoreCNR unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA491 . @prefix parolechiave: . prodotto:ID39853 parolechiave:insiemeDiParoleChiave . ns11:ID443919 pubblicazioni:rivistaDi prodotto:ID39853 . ns12:ID178 pubblicazioni:editoreDi prodotto:ID39853 . parolechiave:insiemeDiParoleChiaveDi prodotto:ID39853 .