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Weng MH, Roccaforte F, Giannazzo F, Di Franco S, Bongiorno C, Zanetti E, Ruggiero A, Saggio M, Raineri V (2010)
Study of Morphology, Electrical Activation and Contact formation of Ion Implanted 4H-SiC
in Diffusion and defect data, solid state data. Part B, Solid state phenomena
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