@prefix pubblicazioni: . @prefix unitaDiPersonaleInterno: . @prefix prodotto: . unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA28167 pubblicazioni:autoreCNRDi prodotto:ID36472 . @prefix prodottidellaricerca: . @prefix istituto: . istituto:CDS057 prodottidellaricerca:prodotto prodotto:ID36472 . @prefix unitaDiPersonaleEsterno: . unitaDiPersonaleEsterno:ID8025 pubblicazioni:autoreCNRDi prodotto:ID36472 . unitaDiPersonaleEsterno:ID1752 pubblicazioni:autoreCNRDi prodotto:ID36472 . unitaDiPersonaleEsterno:ID8039 pubblicazioni:autoreCNRDi prodotto:ID36472 . unitaDiPersonaleEsterno:ID8030 pubblicazioni:autoreCNRDi prodotto:ID36472 . @prefix modulo: . modulo:ID2678 prodottidellaricerca:prodotto prodotto:ID36472 . unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA2284 pubblicazioni:autoreCNRDi prodotto:ID36472 . @prefix rdf: . prodotto:ID36472 rdf:type prodotto:TIPO1101 . @prefix retescientifica: . prodotto:ID36472 rdf:type retescientifica:ProdottoDellaRicerca . @prefix rdfs: . prodotto:ID36472 rdfs:label "Defect engineering and micromachining of Lithium Niobate by ion implantation (Articolo in rivista)"@en . @prefix xsd: . prodotto:ID36472 pubblicazioni:anno "2009-01-01T00:00:00+01:00"^^xsd:gYear ; pubblicazioni:doi "10.1016/j.nimb.2009.06.105"^^xsd:string . @prefix skos: . prodotto:ID36472 skos:altLabel "
Bianconi M; Bentini GG; Chiarini M; De Nicola P; Montanari GB; Nubile A; Sugliani S (2009)
Defect engineering and micromachining of Lithium Niobate by ion implantation
in Nuclear instruments & methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms (Print); Elsevier, Amsterdam (Paesi Bassi)
"^^rdf:HTML ; pubblicazioni:autori "Bianconi M; Bentini GG; Chiarini M; De Nicola P; Montanari GB; Nubile A; Sugliani S"^^xsd:string ; pubblicazioni:paginaInizio "2839"^^xsd:string ; pubblicazioni:paginaFine "2845"^^xsd:string ; pubblicazioni:numeroVolume "267"^^xsd:string . @prefix ns12: . prodotto:ID36472 pubblicazioni:rivista ns12:ID452932 ; skos:note "ISI Web of Science (WOS)"^^xsd:string ; pubblicazioni:affiliazioni "1. CNR IMM, I-40129 Bologna, Italy\n2. Lab MISTER, I-40129 Bologna, Italy\n3. Carlo Gavazzi Space SpA, Sede Bologna, I-40129 Bologna, Italy\n4. Univ Bologna, Dipartimento DEIS, I-40136 Bologna, Italy"^^xsd:string ; pubblicazioni:titolo "Defect engineering and micromachining of Lithium Niobate by ion implantation"^^xsd:string ; prodottidellaricerca:abstract "A complete set of semi-empirical equations has been determined to engineer the damage formation in Lithium Niobate (LN) by irradiation with any ion atomic number and energy in the range 0.1-1.0 MeV/amu. Both nuclear and electronic process were taken into account and in particular the complex regime of sub-threshold electronic damage was quantitatively approached. The chemical etching of the processed material in 50 wt% HF at room temperature has been studied and the dependence of the etching rate on the damage concentration has been quantified. Finally, some test processes for surface micromachining of LN were first planned by using the above equations and then experimentally demonstrated."@en . @prefix ns13: . prodotto:ID36472 pubblicazioni:editore ns13:ID252 ; prodottidellaricerca:prodottoDi modulo:ID2678 , istituto:CDS057 ; pubblicazioni:autoreCNR unitaDiPersonaleEsterno:ID8039 , unitaDiPersonaleEsterno:ID8025 , unitaDiPersonaleEsterno:ID8030 , unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA2284 , unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA28167 , unitaDiPersonaleEsterno:ID1752 . @prefix parolechiave: . prodotto:ID36472 parolechiave:insiemeDiParoleChiave . ns13:ID252 pubblicazioni:editoreDi prodotto:ID36472 . ns12:ID452932 pubblicazioni:rivistaDi prodotto:ID36472 . parolechiave:insiemeDiParoleChiaveDi prodotto:ID36472 .