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Roccaforte F, Giannazzo F, Iucolano F, Bongiorno C, Raineri V (2008)
Two-dimensional electron gas insulation by local surface thin thermal oxidation in AlGaN/GaN heterostructures
in Applied physics letters
"^^rdf:HTML ; pubblicazioni:autori "Roccaforte F, Giannazzo F, Iucolano F, Bongiorno C, Raineri V"^^xsd:string ; pubblicazioni:paginaInizio "252101"^^xsd:string ; pubblicazioni:numeroVolume "92"^^xsd:string . @prefix ns12: . prodotto:ID36288 pubblicazioni:rivista ns12:ID392626 ; skos:note "ISI Web of Science (WOS)"^^xsd:string ; pubblicazioni:affiliazioni "[Roccaforte, Fabrizio; Giannazzo, Filippo; Iucolano, Ferdinando; Bongiorno, Corrado; Raineri, Vito] CNR, IMM, I-95121 Catania, Italy; [Iucolano, Ferdinando] Catania Univ, Dipartimento Fis & Astron, I-95123 Catania, Italy"^^xsd:string ; pubblicazioni:titolo "Two-dimensional electron gas insulation by local surface thin thermal oxidation in AlGaN/GaN heterostructures"^^xsd:string ; prodottidellaricerca:abstract "In this letter, the physical effects of the local surface thin thermal oxidation on the current transport in AlGaN/GaN heterostructures are reported. Current-voltage measurements performed on appropriate test patterns demonstrated that a selective oxidation process at 900 degrees C enables the suppression of the current flow through the two-dimensional electron gas. The electrical insulation was achieved even though structural analysis showed that the formed oxide did not reach the depth of the AlGaN/GaN heterointerface. The combination of capacitance-voltage measurements with depth-resolved scanning capacitance microscopy enabled to correlate the electrical results to the doping and the compositional stability of the material during oxidation. (c) 2008 American Institute of Physics." ; prodottidellaricerca:prodottoDi istituto:CDS057 , modulo:ID2163 ; pubblicazioni:autoreCNR unitaDiPersonaleEsterno:ID2808 , unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA465 , unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA8590 , unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA8848 , unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA10107 . @prefix parolechiave: . prodotto:ID36288 parolechiave:insiemeDiParoleChiave . ns12:ID392626 pubblicazioni:rivistaDi prodotto:ID36288 . parolechiave:insiemeDiParoleChiaveDi prodotto:ID36288 .