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Francioso L, Siciliano P (2006)
Top-down contact lithography fabrication of a TiO2 nanowire array over a SiO2 mesa
in Nanotechnology (Bristol. Print)
"^^rdf:HTML ; pubblicazioni:autori "Francioso L, Siciliano P"^^xsd:string ; pubblicazioni:paginaInizio "3761"^^xsd:string ; pubblicazioni:paginaFine "3767"^^xsd:string ; pubblicazioni:numeroVolume "17"^^xsd:string . @prefix ns11: . prodotto:ID35800 pubblicazioni:rivista ns11:ID275887 ; pubblicazioni:numeroFascicolo "15"^^xsd:string ; skos:note "ISI Web of Science (WOS)"^^xsd:string ; pubblicazioni:affiliazioni "CNR, IMM, Sez Lecce, I-73100 Lecce, Italy"^^xsd:string ; pubblicazioni:titolo "Top-down contact lithography fabrication of a TiO2 nanowire array over a SiO2 mesa"^^xsd:string ; prodottidellaricerca:abstract "A fast and cheap nanofabrication process for a titania (TiO2) nanostructured nanowire array with a lateral section ranging from 90 to 180 nm and 1.4 mm in length is presented. As an alternative to typical pattern transfer techniques for submicron fabrication, this work focused on a standard 365 nm ultraviolet (UV) photolithographic process that is able to fabricate sol-gel nanostructured titania nanowires from a solid thin film onto a silicon oxide mesa. Useful process parameters like anisotropy and bias have been calculated. Finally, in order to carry out electrical characterization, the TiO2 nanowire-based array was electrically contacted by platinum electrodes and tested with EtOH pulses to validate enhanced gas sensor device performance and to verify electrical conductivity of these nanostructures." ; prodottidellaricerca:prodottoDi modulo:ID2677 , istituto:CDS057 ; pubblicazioni:autoreCNR unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA9603 , unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA19935 . ns11:ID275887 pubblicazioni:rivistaDi prodotto:ID35800 .